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日本pureron預(yù)處理用全金屬氣體過濾器

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號RGF系列

品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地深圳市

更新時間:2024-05-12 10:17:42瀏覽次數(shù):774次

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日本pureron預(yù)處理用全金屬氣體過濾器RGF系列
過濾精度范圍寬
可以對應(yīng)固定或脈沖方式下的0.1~10μm過濾精度。

日本pureron預(yù)處理用全金屬氣體過濾器RGF系列

日本pureron預(yù)處理用全金屬氣體過濾器RGF系列

 

預(yù)處理用全金屬氣體過濾器 RGF系列

 

  • 過濾精度范圍寬
    可以對應(yīng)固定或脈沖方式下的0.1~10μm過濾精度。
  • 高耐腐蝕性
    過濾器沒有采用腐蝕性材料,不用擔(dān)心被腐蝕或者生成中間產(chǎn)物。
  • 排氣特性
    和的烘烤加熱器并用,APIMS方式測定的排氣(水分量)能夠達到1.2ppb。繼續(xù)使用可以達到0.1ppb的水平。過濾器內(nèi)部的雜質(zhì)預(yù)先采用特殊洗凈方式去除,排氣性能更加出色。

 

過濾精度0.1、0.5、1.0、5.0、10μm 各種
推薦流量尺寸大小 E 尺寸…40?/min、T 尺寸…60?/min
設(shè)計壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產(chǎn)品全部經(jīng)過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是,依據(jù)日本國內(nèi)的高壓氣體保安法,使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認定品,請詢問我們。
常用壓力1MPa(145PSIG)未滿
容許差壓2MPa(290PSIG) at20℃
使用溫度400℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構(gòu)成材料外罩:SUS316L(電解研磨處理) 元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
連接零件1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它
 
 

 

金屬氣體過濾器

全部采用SUS316L材質(zhì)制造,緊湊式設(shè)計、高過濾精度、耐高溫(460℃)用于ULSI制造的高性能氣體過濾器。

  • UCD系列: 圓盤狀部件過濾精度0.003μm 推薦流量10~100L/min
  • RGF系列: 管狀部件 過濾精度0.1~10μm 推薦流量40~60L/min
  • UCS-M系列: 管狀部件 過濾精度0.003μm 推薦流量15~250L/min

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