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日本pureron預(yù)處理用全金屬氣體過濾器RGF系列
日本pureron預(yù)處理用全金屬氣體過濾器RGF系列
預(yù)處理用全金屬氣體過濾器 RGF系列
- 過濾精度范圍寬
可以對應(yīng)固定或脈沖方式下的0.1～10μm過濾精度。 - 高耐腐蝕性
過濾器沒有采用腐蝕性材料，不用擔(dān)心被腐蝕或者生成中間產(chǎn)物。 - 排氣特性
和的烘烤加熱器并用，APIMS方式測定的排氣（水分量）能夠達到1.2ppb。繼續(xù)使用可以達到0.1ppb的水平。過濾器內(nèi)部的雜質(zhì)預(yù)先采用特殊洗凈方式去除，排氣性能更加出色。
| 過濾精度 | 0.1、0.5、1.0、5.0、10μm 各種 | |
|---|---|---|
| 推薦流量 | 尺寸大小 E 尺寸…40?/min、T 尺寸…60?/min | |
| 設(shè)計壓力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本產(chǎn)品全部經(jīng)過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是，依據(jù)日本國內(nèi)的高壓氣體保安法，使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認定品，請詢問我們。 |
| 常用壓力 | 1MPa(145PSIG)未滿 | |
| 容許差壓 | 2MPa(290PSIG) at20℃ | |
| 使用溫度 | 400℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 | |
| 構(gòu)成材料 | 外罩:SUS316L（電解研磨處理） 元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 | |
| 連接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它 | |
金屬氣體過濾器
全部采用SUS316L材質(zhì)制造，緊湊式設(shè)計、高過濾精度、耐高溫（460℃）用于ULSI制造的高性能氣體過濾器。
- UCD系列： 圓盤狀部件過濾精度0.003μm 推薦流量10～100L/min
- RGF系列： 管狀部件 過濾精度0.1～10μm 推薦流量40～60L/min
- UCS-M系列： 管狀部件 過濾精度0.003μm 推薦流量15～250L/min
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