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寧波怡信光電科技有限公司


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EPV-654(PH10T)懸臂式精密型三坐標(biāo)

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品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

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更新時(shí)間:2023-05-23 16:01:55瀏覽次數(shù):123次

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經(jīng)營模式:

商鋪產(chǎn)品:99條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:施勇 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

00級專用優(yōu)質(zhì)花崗巖平臺(tái)及三軸導(dǎo)軌,精密鑄造加工航空鋁合金立柱,英國RENISHAW高精度光柵、讀數(shù)頭測長系統(tǒng),SMC精密空氣過濾器及自動(dòng)檢測控制裝置,進(jìn)口國際品牌直流伺服電機(jī),德國FESTO氣管接頭,優(yōu)質(zhì)空氣軸承,德國進(jìn)口配件的非線性彈簧系統(tǒng),德國IGUS低摩擦無噪音拖鏈及高柔性拖鏈電纜,美國蓋茨(GATES)高性能同步帶,美國進(jìn)口精密滾珠軸承,高級汽車級進(jìn)口工業(yè)面漆等。 ......

詳細(xì)介紹

EPV-654(PH10T)精密型三坐標(biāo)技術(shù)方案

概述
EPV系列是我公司生產(chǎn)的龍門移動(dòng)式全自動(dòng)三坐標(biāo)測量機(jī),具有功能強(qiáng)大、性能穩(wěn)定、精度高、操作簡單、快速高效、維護(hù)方便等特點(diǎn),尤其是其控制系統(tǒng)和軟件功能,具有水平。相對于其他產(chǎn)品系列比較而言,該系列具有結(jié)構(gòu)簡單、承載能力強(qiáng)、工件放置空間開闊、裝卸便捷等特點(diǎn)。

一、機(jī)器型號(hào)規(guī)格及主要技術(shù)指標(biāo)


規(guī)格型號(hào): EPV-654

測量范圍(mm)

外形尺寸(mm)

主機(jī)重量(Kg)

承受重量(Kg)

X

Y

Z

L

W

H

500

600

400

1420

1135

2310

900

500

精度指標(biāo):

空間測量示值誤差 (µm)L:mm

探測誤差(µm)

分辨率(µm)

2.3 + L/300

2.4

0.1

運(yùn)動(dòng)速度(mm/s) :430

二、機(jī)器配置


序號(hào)

 配置

名稱

規(guī)格及說明

產(chǎn)地

品牌

數(shù)量

1

主機(jī)系統(tǒng)

主機(jī)及機(jī)臺(tái)支撐

EPV-654

 

怡信

一臺(tái)

2

控制系統(tǒng)

UCC控制系統(tǒng)

控制柜

英國

雷尼紹

一個(gè)

操控手柄

 

 

一個(gè)

3

測量軟件系統(tǒng)

Visual DMIS CNC CAD+ 測量軟件

Visual DMIS CNC CAD+測量軟件光盤一張(適用于Windows 操作系統(tǒng))

英國

雷尼紹

一張

軟件鎖

Visual DMIS CNC CAD+測量軟件鎖

國產(chǎn)

 

一個(gè)

測量軟件操作手冊

Visual DMIS CNC CAD+測量軟件操作手冊

國產(chǎn)

 

一本

4

自動(dòng)化接口

自動(dòng)化接口系統(tǒng)

測量機(jī)連接自動(dòng)化生產(chǎn)線的控制接口和數(shù)據(jù)接口

國產(chǎn)

 

一套

5

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

計(jì)算機(jī)

3.0GHz英特爾雙核處理器,內(nèi)存8GB,硬盤500 GB, DVD-ROM光驅(qū),19吋寬屏液晶顯示屏、64位Windows 10中文版操作系統(tǒng)   (不低于此配置)

 

聯(lián)想

一臺(tái)

打印機(jī)

HP噴墨打印機(jī)

 

惠普

一臺(tái)

桌椅

計(jì)算機(jī)專用桌椅

國產(chǎn)

 

一套

6

測頭及測針系統(tǒng)

測頭座

PH10T

英國

雷尼紹

一個(gè)

測頭

TP20

英國

雷尼紹

一個(gè)

測針組

RENISHAW第2測針組件

英國

雷尼紹

一套

陶瓷校準(zhǔn)球

Ф20

國產(chǎn)

 

一個(gè)

萬向球座

 

國產(chǎn)

 

一個(gè)

7

主要零部件

機(jī)臺(tái)

00級泰山青優(yōu)質(zhì)花崗巖平臺(tái)

國產(chǎn)

 

一個(gè)

光柵尺

高精度

英國

雷尼紹

三條

空氣過濾器及自動(dòng)檢測控制裝置

 

日本

SMC

一個(gè)

氣管接頭

 

德國

FESTO

 

同步帶

 

美國

蓋茨

三根

拖鏈及拖鏈電纜

 

德國

IGUS

一組

三、質(zhì)量保證及技術(shù)服務(wù)
1、安裝驗(yàn)收:由怡信公司負(fù)責(zé)機(jī)器包裝運(yùn)輸、現(xiàn)場安裝、調(diào)試,依據(jù)中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF1064《坐標(biāo)測量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范》進(jìn)行機(jī)器驗(yàn)收,雙方簽字認(rèn)可。
2、培訓(xùn):怡信公司免費(fèi)到買方現(xiàn)場進(jìn)行兩人三天的人員操作培訓(xùn)。
3、保修期:測量機(jī)在買方調(diào)試驗(yàn)收合格后,免費(fèi)保修12個(gè)月,但不超過實(shí)際發(fā)貨日期起13個(gè)月。
4、技術(shù)服務(wù):怡信公司承諾實(shí)時(shí)電話咨詢、指導(dǎo)解決客戶問題,如有必要,48小時(shí)到客戶現(xiàn)場解決問題,終身負(fù)責(zé)服務(wù)。
四、技術(shù)、功能、特點(diǎn)說明

1、主機(jī)

1 
(圖1)

主要材質(zhì)及零部件:00級專用優(yōu)質(zhì)花崗巖平臺(tái)及三軸導(dǎo)軌,精密鑄造加工航空鋁合金立柱,英國RENISHAW高精度光柵、讀數(shù)頭測長系統(tǒng),SMC精密空氣過濾器及自動(dòng)檢測控制裝置,進(jìn)口國際品牌直流伺服電機(jī),德國FESTO氣管接頭,優(yōu)質(zhì)空氣軸承,德國進(jìn)口配件的非線性彈簧系統(tǒng),德國IGUS低摩擦無噪音拖鏈及高柔性拖鏈電纜,美國蓋茨(GATES)高性能同步帶,美國進(jìn)口精密滾珠軸承,高級汽車級進(jìn)口工業(yè)面漆等。
1.1龍門移動(dòng)式結(jié)構(gòu),整體式工作臺(tái),使其具有承載能力強(qiáng)、工件放置空間寬闊、裝卸便捷的特點(diǎn)。三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖材料,使三軸具有相同的溫度特性,因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗時(shí)效變形能力,剛性好、幾何變形最?。粚I(yè)花崗巖生廠商聯(lián)合開發(fā)的新式花崗巖導(dǎo)軌加工檢驗(yàn)工藝,將花崗巖導(dǎo)軌的加工精度提高到一個(gè)新的等級。

1 
(圖2)

1.2 采用高精度空氣軸承,環(huán)抱式軸承布局設(shè)計(jì)(如圖1)提高了機(jī)器的剛性和穩(wěn)定性,即使長期工作,也能保持很高的精度,同時(shí)確保了機(jī)器優(yōu)異的動(dòng)態(tài)特性。
1.3 的Z軸防扭轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)是決定測量機(jī)精度的重要環(huán)節(jié),可靠的防轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)即使在使用測頭加長桿時(shí)也能獲得很高的精度。
1.4 非線性彈簧系統(tǒng)的應(yīng)用(技術(shù))(如圖2)降低了導(dǎo)軌微小誤差對測量精度的影響,同時(shí)保證設(shè)備具有更高的環(huán)境溫度適應(yīng)性。

1 
(圖3)

1.5 三軸采用高性能同步帶傳動(dòng),不但可以獲得很高的運(yùn)動(dòng)速度以提高測量效率,還可以限度的降低傳動(dòng)慣量以提高運(yùn)動(dòng)加速度;傳動(dòng)系統(tǒng)的振動(dòng)隔離設(shè)計(jì),使得機(jī)器高速運(yùn)動(dòng)時(shí)也能把機(jī)械振動(dòng)對測量精度的影響降到最小。
1.6 進(jìn)口低摩擦無噪音拖鏈,降低了各種運(yùn)動(dòng)軸外力干擾,同時(shí)提高各運(yùn)動(dòng)軸靈活性和可靠性。
1.7 橫梁采用的導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)(如圖3)三角形是同樣面積中截面周長的形狀。三角形的導(dǎo)軌保證了在最小慣量的條件下取得的導(dǎo)向空氣軸承跨距,大幅提高了導(dǎo)軌的防轉(zhuǎn)精度。
1.8 長度測量系統(tǒng)采用英國RENISHAW高精度反射式金屬帶狀光柵尺和讀數(shù)頭,具有的精度和精度穩(wěn)定性。
1.9 SMC高精度空氣過濾器可以使壓縮空氣達(dá)到的潔凈度以有效地保護(hù)空氣軸承和導(dǎo)軌,同時(shí)自動(dòng)排水裝置使得操作者使用時(shí)更加省心省力,避免了因忘記排水導(dǎo)致的設(shè)備損壞。全數(shù)字氣源檢測裝置,加強(qiáng)對氣源波動(dòng)檢測的靈敏度,將氣源對測量精度的影響降至。
1.10 完善的安全保護(hù)裝置,能在一些意外發(fā)生時(shí)及時(shí)鎖死三軸,避免更大的意外發(fā)生,保護(hù)機(jī)器的安全。
1.11 整機(jī)設(shè)計(jì)符合人機(jī)工程學(xué)原理,使用簡單方便,易于保養(yǎng)及維護(hù)。

1 
(圖4)

2、控制系統(tǒng)
RENISHAW  UCC控制系統(tǒng)(如圖4)是一款專門為CNC三坐標(biāo)測量機(jī)而設(shè)計(jì)制造的數(shù)控系統(tǒng),該控制系統(tǒng)采用了控制層和應(yīng)用層分開的原理,為三坐標(biāo)測量機(jī)(CMM)的高精度,準(zhǔn)確性,高效率提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。控制系統(tǒng)采用以太網(wǎng)接口和計(jì)算機(jī)通訊,不需要擴(kuò)展任何計(jì)算機(jī)通訊接口,也減少了不必要的外部連線,保證了系統(tǒng)的高可靠性。
2.1 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),3軸均可無間隙、無振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)按照速度T曲線或S曲線運(yùn)動(dòng)。
2.2 按照3軸閉環(huán)運(yùn)動(dòng)方式配置,可輸入3路TTL正交脈沖,并實(shí)現(xiàn)矢量控制。
2.3 控制系統(tǒng)更加安全可靠,它提供了多個(gè)控制模式,當(dāng)導(dǎo)致停機(jī)的問題發(fā)生時(shí),本系統(tǒng)能夠在時(shí)間內(nèi)切換到相應(yīng)的模式讓機(jī)器停下來,用戶不用擔(dān)心飛車的意外,并具有故障在線診斷的功能。
2.4 UCC 控制系統(tǒng)支持多種誤差檢測方法,可以方便的對測量機(jī)精度進(jìn)行校正。

1 
(圖5 )

2.5 速度更快,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),效率更高,在多點(diǎn)連續(xù)運(yùn)動(dòng)的路徑規(guī)劃上,既可以走直線也可以走圓弧路徑,使圓形工件的測量更加方便。
2.6 控制系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,維護(hù)簡單。控制層和應(yīng)用層分開使本系統(tǒng)的問題診斷和解決更為簡單和明確,一個(gè)層面上的問題波及到另外一個(gè)層面的現(xiàn)象將不復(fù)存在。
2.7 操縱盒(如圖5)的人性化設(shè)計(jì)。操縱盒為用戶提供了控制更為簡捷、合理的按鍵及操作桿。既有傳統(tǒng)上的速度控制,還提供測量快捷鍵,使整個(gè)測量過程更加輕松、方便。
3、Rational DMIS測量軟件
Rational DMIS軟件是一款通過德國物理技術(shù)研究院(PTB)認(rèn)證的軟件,具有多國語言文字(含中文)的表達(dá)能力,是國際化的測量軟件,為用戶提供了技術(shù)*、功能完善、性能穩(wěn)定、操作簡單方便的測量保證。

1
(圖6)

3.1  Rational DMIS軟件是建立在Windows平臺(tái)之上,操作非常容易。
3.2  基本測量功能(如圖6):

  1. 幾何元素的測量及評定:點(diǎn)、直線、平面、圓、橢圓、圓柱、圓錐、球、圓弧、鍵槽等。便捷的操作,只需操作者將被測工件進(jìn)行簡單的幾何元素分解即分清被測工件有多少個(gè)幾何元素構(gòu)成的,就可以快速的完成測量。
  2. 構(gòu)造功能:相交、中分、投影、擬合、相切、平行、垂直、平移、偏置、鏡像、提取、限制、旋轉(zhuǎn)。
  3. 形狀誤差評定:直線度、平面度、圓度、圓柱度。
  4. 位置誤差評定:距離、夾角、平行度、垂直度、傾斜度、同軸度(同心度)、對稱度、位置度(二維和三維)、圓跳動(dòng)、全跳動(dòng)。
  5. Rational DMIS軟件操作方便簡單,的支持拖放式操作,簡化了操作流程,從測量、構(gòu)造、公差評定到最終報(bào)告的輸出,只需要簡單的拖動(dòng)鼠標(biāo)便可完成。
  6. 曲線、曲面的測量及評定。強(qiáng)大的曲線曲面測量功能,可以通過單邊或雙邊公差對曲面和曲線進(jìn)行誤差分析。
  7. RENISHAW測頭及測針庫??煞奖愕倪B接、配置、校驗(yàn)、使用RENISHAW各種測頭及測針。
  8. 智能工件找正。即常用的3-2-1坐標(biāo)系建立方法,擁有圖形化提示操作,操作簡單方便。支持汽車檢具行業(yè)常用的RPS定位方法,支持曲面測量常用的擬合方法,還支持多點(diǎn)擬合、三點(diǎn)偏置、兩點(diǎn)偏移等多種坐標(biāo)系建立方法。

1
(圖7)

     9.多坐標(biāo)系、多測頭功能轉(zhuǎn)換便捷。軟件允許在一個(gè)測量工程中建立多個(gè)坐標(biāo)系,且允許使用多個(gè)測頭,通過鼠標(biāo)點(diǎn)擊或拖放,便可實(shí)現(xiàn)各坐標(biāo)系或各測頭之間的轉(zhuǎn)換。

3.3  與CAD系統(tǒng)進(jìn)行雙向數(shù)據(jù)傳遞功能(如圖7):

  1. 直接接收CAD傳送的IGES、STEP、DXF等格式的數(shù)學(xué)模型,并能以實(shí)體或線框顯示CAD傳輸?shù)臄?shù)學(xué)模型圖形。
  2. 可實(shí)現(xiàn)CAD數(shù)模的分層和著色,也可以實(shí)現(xiàn)CAD數(shù)模原有分層和分色的導(dǎo)入,多個(gè)CAD數(shù)模導(dǎo)入、CAD數(shù)模鏡像、CAD數(shù)模的理論元素自動(dòng)識(shí)別,支持點(diǎn)云數(shù)據(jù)的處理。
  3. 可在CAD數(shù)模中直接讀取理論數(shù)值并與實(shí)測值進(jìn)行比對。
  4. 可在CAD數(shù)模上直接脫機(jī)模擬測量,并編制測量程序。
  5. 可以將測量結(jié)果以IGES格式輸出給CAD系統(tǒng)。
  6. 能對被測量工件進(jìn)行測繪,也可做逆向工程。
  7. 能對復(fù)雜工件的CAD數(shù)模進(jìn)行精確找正,測量后重新構(gòu)建。并可從多個(gè)視圖中顯示CAD數(shù)模。

3.4  圖形功能

  1. 三維實(shí)體模型顯示,使被測工件能直觀的顯示。可以在計(jì)算機(jī)屏幕上展示被測工件和測得的幾何元素的三維圖形,并可以打印出工件的三維圖形和尺寸報(bào)告。
  2. 可顯示測量機(jī)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。在Rational DMIS軟件的支持下,計(jì)算機(jī)的屏幕上能實(shí)時(shí)顯示三坐標(biāo)測量機(jī)的三維立體模型。在實(shí)測量過程中,可以模擬顯示測頭的實(shí)際測量運(yùn)動(dòng),即實(shí)時(shí)模擬測量機(jī)和測頭的運(yùn)動(dòng)姿態(tài),移動(dòng)鼠標(biāo)可轉(zhuǎn)動(dòng)三坐標(biāo)測量機(jī)的位置,調(diào)節(jié)視角的大小、比例。加之工件有三維實(shí)體模型顯示,這樣就大大方便了操作者,以后對工件進(jìn)行重復(fù)測量時(shí),只要觀測屏幕就能了解三坐標(biāo)測量機(jī)的測量過程。
  3. 測量結(jié)果的圖形顯示輸出。
  4. 立體的幾何元素圖標(biāo),豐富的動(dòng)態(tài)工具條,形象的工具欄以及三維圖形顯示被測幾何元素,操作者可以直觀明了地進(jìn)行操作,被測的幾何元素如面、圓柱等的三維圖形顯示,可以有線型和實(shí)體兩種表示功能,非常清晰形象。

3.5  DMIS標(biāo)準(zhǔn)格式測量程序的雙向傳輸,支持DMIS5.0標(biāo)準(zhǔn)。
3.6  自學(xué)習(xí)編程功能。方便的自學(xué)習(xí)功能,可將整個(gè)測量過程自動(dòng)編制成測量程序。測量的順序也就是程序測量的順序,并能對整個(gè)程序進(jìn)行編輯以及進(jìn)行脫機(jī)模擬測量。
3.7  具有網(wǎng)絡(luò)工作能力。

1
(圖8)

3.8  具有斷電保護(hù)功能及自診斷功能。
3.9  在線幫助功能符合Windows操作習(xí)慣的在線幫助說明,樹枝形方式的顯示查詢簡便,操作者能很容易的查詢到所需要的幫助內(nèi)容。
3.10 測量結(jié)果輸出(如圖8)以將檢測的結(jié)果循環(huán)輸出報(bào)告。

  1.   測量結(jié)果報(bào)告輸出可以是圖文并茂的形式給出,結(jié)果報(bào)告直觀易懂。能將測量結(jié)果以文本格式、Excel格式、網(wǎng)頁格式等輸出。多種格式的輸出豐富了操作者的打印測量報(bào)告的形式。
  2.   具有用戶自行設(shè)計(jì)打印報(bào)告的功能。即用戶可以設(shè)計(jì)測量報(bào)告的圖標(biāo)、廠徽等插入到打印報(bào)告的表頭中,靈活的表頭功能,使得輸出報(bào)告更為人性化。
  3.   輸出報(bào)告中可以顯示用戶設(shè)定的上、下偏差值,還有自動(dòng)判別測量結(jié)果是否超差等功能。Visual DMIS CNC CAD+軟件能對任何被測工件進(jìn)行檢測結(jié)果處理,及輸出用戶測量報(bào)告,將測量結(jié)果輸出為IGES等格式文件以及點(diǎn)云格式。

4、自動(dòng)化接口
  4.1標(biāo)配自動(dòng)化接口軟件Visual DMIS Online Server,自動(dòng)化接口軟件可以通過RS232接口、可擴(kuò)展的I/O接口或者以太網(wǎng)接口,實(shí)現(xiàn)和測量機(jī)的計(jì)算機(jī)與外部PLC控制器、機(jī)床控制器或其他控制器的進(jìn)行連接,實(shí)現(xiàn)測量機(jī)與外部控制器之間的通訊,達(dá)到控制外部設(shè)備或這由外部設(shè)備控制三坐標(biāo)測量機(jī)的目的,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線測量。
  4.2  Visual DMIS Online Server支持OPC協(xié)議與外部控制器連接。
  4.3  Visual DMIS Online Server可以向外部控制器提供測量機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)、測量機(jī)的回零狀態(tài)、測量機(jī)是否處于安全位置、測量程序運(yùn)行狀態(tài)等相關(guān)信息。
  4.4  Visual DMIS Online Server 可以接受外部控制器的控制命令,執(zhí)行回零、測頭校驗(yàn)、清除錯(cuò)誤、回安全位置、執(zhí)行編號(hào)或位置存儲(chǔ)的測量程序、接受遠(yuǎn)程推送程序等命令。Visual DMIS Online Server所能執(zhí)行的測量程序的數(shù)量理論上沒有上限,只受程序存儲(chǔ)磁盤大小的限制。
  4.5在Visual DMIS Online Server中,也同樣支持通過使用掃碼槍或RFID掃描器來啟動(dòng)的測量程序。

411 

  4.6  Visual DMIS Online Server可以通過以太網(wǎng)或現(xiàn)場總線,將測量數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)服務(wù)器或者其他控制器??梢詫?shí)現(xiàn)和客戶工廠的MES或CAPP系統(tǒng)的連接。
  4.7  Visual DMIS Online Server支持輸出數(shù)據(jù)有Txt、Excel、DMO等常用格式。
  4.8  Visual DMIS Online Server支持二次開發(fā)和功能定制,滿足自動(dòng)化生產(chǎn)線的個(gè)性化需求。

5、測頭系統(tǒng)


1

RENISHAW   PH10T機(jī)械分度測頭座

1個(gè)

PH10T是英國RENISHAW公司專業(yè)設(shè)計(jì)生產(chǎn)的分度旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)測頭座,可由軟件直接驅(qū)動(dòng)改變旋轉(zhuǎn)角度。

技術(shù)參數(shù):
分度軸A(俯仰):0°~105°,7.5°/步  扭矩:0.45Nm;分度軸B(旋轉(zhuǎn)):±180°,7.5°/步 
重復(fù)定位精度:0.4um
加長度:300㎜   重量:649g   

2

RENISHAW TP20觸發(fā)測頭

1個(gè)

技術(shù)參數(shù):
感應(yīng)方向:5方向     ±X,±Y,+Z
重復(fù)性(2δ):0.35μm/10㎜
觸發(fā)力:XY向  5.5 g/10㎜,Z向       65 g/10㎜
重量:22 g

3

RENISHAW 標(biāo)準(zhǔn)測力模塊

1個(gè)

4

RENISHAW第2測針組件

4.1

測針A-5000-7804  PS27R  (φ2.5×20/14)

4根

4.2

測針A-5000-3604  PS1R   (φ3.0×10/7.5)

1根

4.3

測針A-5000-4161  PS17R  (φ4.0×20/20)

1根

5

測針加長桿A-5004-7586(20mm)

1根

6

測針加長桿A-5004-7611(40mm)

1根

7

測頭加長桿A-1047-3485 PEL2(100mm)

1根

8

測針中心A-5000-3627  SC2

1根

9

測頭工具

1把

10

測針工具 A-5004-7582

1根

11

校 準(zhǔn) 球: φ20mm

1個(gè)

12

萬向球座

1個(gè)

五 、環(huán)境要求:

  • 溫度范圍:20±2℃,溫度變化:< 0.5℃/h     < 1°C /24h
  • 氣源壓力: 0.6MPa~0.8MPa,
  • 耗氣量:200L/min(0.45MPa)
  • 濕度范圍:30%-70%
  • 電源: 220V±5 % ,50Hz    
  • 功率:1 KW
  • 地面振動(dòng):振動(dòng)頻率≤10 Hz       振幅 ≤0.5μm
    10 Hz<振動(dòng)頻率≤30 Hz       振幅 ≤1μm
    振動(dòng)頻率≥30 Hz       振幅 ≤3μm 


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