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Park Systems原子力顯微鏡 NX-20

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Park Systems原子力顯微鏡 NX-20,具有的形貌表征能力,完善的設(shè)計(jì)使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復(fù)性。高度自動(dòng)化的軟硬件,*地避免了人為操作的失誤和誤差,提高了工作效率測(cè)量,降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力,超高的掃描器線性度,極低的閉環(huán)檢測(cè)器噪聲水平,和Z小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好,操作簡(jiǎn)便的儀器,NX-20會(huì)成為納米研究領(lǐng)域及相關(guān)產(chǎn)業(yè)界的得力助手。

詳細(xì)介紹

Park Systems原子力顯微鏡 NX-20

儀器簡(jiǎn)介:

    NX-20具有的形貌表征能力,完善的設(shè)計(jì)使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復(fù)性。高度自動(dòng)化的軟硬件,*地避免了人為操作的失誤和誤差,提高了工作效率測(cè)量,降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力,超高的掃描器線性度,極低的閉環(huán)檢測(cè)器噪聲水平,和zui小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好,操作簡(jiǎn)便的儀器,NX-20會(huì)成為納米研究領(lǐng)域及相關(guān)產(chǎn)業(yè)界的得力助手。

 

Park Systems原子力顯微鏡 NX-20技術(shù)參數(shù):

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm(可選50μm*50μm)

平面偏移度:<2nm(全量程掃描)

 

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器

掃描范圍15μm(可選30μm)

定位檢測(cè)噪聲:0.03nm(帶寬:1kHz)

共振頻率:>9kHz

表面成像噪聲:0.03nm

 

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)種類:16位點(diǎn)樣品臺(tái)/150mm直徑真空吸附臺(tái)(可選200mm直徑真空吸附臺(tái))

樣品尺寸: 150mm*150mm*20mm

樣品重量:zui大500g

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:150mm*150mm(可選200mm*200mm)

 

主要特點(diǎn):

一、高精確性和高重復(fù)性

● 探針幾乎沒有損耗,保證了圖像的高分辨率

● 非接觸模式下zui快的掃描速度

● *的雙路閉環(huán)解耦合XY平板式掃描器

● 業(yè)內(nèi)zui小的系統(tǒng)漂移和遲滯

二、低噪聲檢測(cè)器精確測(cè)量樣品形貌

●采用業(yè)界的低噪聲檢測(cè)器測(cè)量樣品形貌

● 消除了蠕變效應(yīng)導(dǎo)致的邊緣超調(diào)誤差

● 高速掃描過程中的精確形貌檢測(cè)記錄

●業(yè)界的極小正反測(cè)量偏離量,小于0.15%

三、Non-Contact™(真正非接觸) 模式*降低了使用成本

●相對(duì)于傳統(tǒng)掃描模式,將探針壽命提高了10倍以上

●極低的探針損耗*地延長(zhǎng)了探針高分辨掃描壽命

●對(duì)樣品幾乎沒有磨損

 

關(guān)鍵詞:顯微鏡
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