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半導體無塵車間如何防靜電 靜電阻抗加濕機 產(chǎn)品詳細信息:現(xiàn)在的半導體生產(chǎn)工藝發(fā)展速度很快, 芯片的精密度已經(jīng)來到3納米,繼續(xù)發(fā)展的話就是量子芯片,只有這樣才能讓我們的繼續(xù)不斷發(fā)展,半導體的發(fā)展方向高精密度跟高集成化。如此高的要求,因此對生產(chǎn)環(huán)境的要求也就越來越嚴格,畢竟灰塵的直徑是微米級別的,粉塵的直徑是也在幾十幾百納米,都比現(xiàn)在的5納米、3納米的半導體生產(chǎn)要大,所以現(xiàn)在的半導體生產(chǎn)車間都是無塵車間,為的就是不給環(huán)境影響生產(chǎn)的機會。
當然還有重要的一點,那就是溫濕度也要控制到位, 溫度22±2℃,濕度45±5%RH。溫度控制可以通過空調,濕度控制就需要根據(jù)實際情況進行,因為濕度過高會導致半導體受潮,濕度過低,生產(chǎn)環(huán)境干燥會有靜電出現(xiàn),靜電放電會產(chǎn)生靜電磁場以及放電的巨大破壞力都會導致半導體產(chǎn)品報廢或者是質量下降,因此需要使用靜電阻抗加濕機來加濕空氣,消除干燥,防范靜電破壞半導體生產(chǎn)。
正島ZS-F5400Z智能工業(yè)加濕機及ZS系列超聲波工業(yè)加濕機是采用超聲波高頻振蕩的原理,從而達到均勻加濕的目的;具有空氣加濕、凈化、防靜電和粉塵、降溫、降塵等多種用途;既可以較大空間進行均勻加濕,也可對特殊空間進行局部濕度補償,具有較高的使用靈活性。對于其他加濕方式的加濕機而言,具有【霧化顆粒細】 、【使用能耗低】 、【霧化能效高】,【加濕速度快】的顯著優(yōu)勢。
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