“02專項(xiàng)"產(chǎn)品簡介
中船重工第七一八研究所 (簡稱PERIC)與南大光電、光明院等5家協(xié)作單位申請(qǐng)的“02"國家科技重大專項(xiàng)--高純電子氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，已于2013年初獲得國家立項(xiàng)并得到國家財(cái)政支持?！?2專項(xiàng)"全稱為極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝，是由專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室組織，屬于重點(diǎn)項(xiàng)目。該項(xiàng)目旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套*工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國集成電路制造裝備與工藝*依賴進(jìn)口的狀況，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。此項(xiàng)目中，718所共承擔(dān)NF3、WF6、SiF4、C2F6、C4F8、C3F8、HF、HCl、COF2及電子混合氣體等19種氣體的研制及產(chǎn)業(yè)化工作。NF3及WF6產(chǎn)品目前我所已有成熟的技術(shù)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，并有多年的產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)，滿足客戶的需求。
COF2產(chǎn)品已完成了研制及小試生產(chǎn)，純度達(dá)到99%以上。
SiF4、C2F6等產(chǎn)品的研制工作已基本結(jié)束，預(yù)計(jì)于2015年將實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，各產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化情況如下：
| 氣體名稱 | 純度 | 產(chǎn)業(yè)化規(guī)模 |
| SiF4 | 99.999% | 50噸/年 |
| C2F6 | 99.9993% | 50噸/年 |
| C4F8 | 99.9993% | 50噸/年 |
| C3F8 | 99.9995% | 30噸/年 |
| HF | 99.999% | 10噸/年 |
| HCl | 99.999% | 50噸/年 |
氣體應(yīng)用：
上述氣體主要用于IC制造過程中的外延、離子注入、擴(kuò)散、蝕刻、沉積、清洗等關(guān)鍵工藝。
目前，718所已與無錫華潤上華科技有限公司或上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司或中芯國際集成電路制造有限公司等簽訂了測試協(xié)議，上述單位將負(fù)責(zé)該項(xiàng)目中所有氣體的測試等工作。
：銷售部 ，0310-7184723
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