環(huán)保型真空機組由真空泵、旋轉(zhuǎn)式面板式油分子泵、油霧過濾器、冷凝器、干燥器、壓縮機、容積式吸附塔等部分組成。其工作原理主要有以下幾個環(huán)節(jié)：
（一）真空泵吸取被處理物質(zhì)廢氣
真空泵可將被處理物質(zhì)廢氣抽取到系統(tǒng)中，提高真空度，減少被處理物質(zhì)中的雜質(zhì)。
（二）旋轉(zhuǎn)式面板式油分子泵作為高效真空泵使用
旋轉(zhuǎn)式面板式油分子泵是一種體積小、重量輕、性能高、可靠性好的機型。它可作為真空系統(tǒng)的高效真空泵使用。
（三）油霧過濾器將機組排氣口的油霧濾去
油分子泵工作時排出的氣體中往往會帶有大量的油分子，因此需要使用油霧過濾器，將油霧濾去，減少對環(huán)境的污染。
（四）冷凝器進行冷卻，凝結(jié)出高沸點物質(zhì)
在油霧過濾器中濾除油霧后，氣體進入冷凝器，通過冷卻來凝結(jié)出高沸點物質(zhì)和一些水分，減少對環(huán)境的影響。
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