詳細(xì)介紹
ST2253型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
儀器成套組成:由主機(jī)、選配的四探針探頭、測試臺(tái)以及PC軟件等部分組成。
主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,USB通訊接口。儀器主機(jī)所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入;具有零位、滿度自校功能;測試功能可自動(dòng)/手動(dòng)方式;儀器操作可由配套軟件在PC機(jī)上操作完成,也可脫P(yáng)C機(jī)由四探針儀器面板上獨(dú)立操作完成。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示,也可連機(jī)由軟件界面同步顯示、分析、保存和打??!
探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ITO膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。配探頭,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
測試臺(tái)選配:一般四探針法測試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測試臺(tái)。二探針法測試電阻率測試選SZT-K型測試臺(tái),也可選配SZT-D型測試臺(tái)以測試半導(dǎo)體粉末電阻率,選配SZT-G型測試臺(tái)測試橡塑材料電阻率。
數(shù)字式四探針測試儀
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。