X射線是和可見(jiàn)光線一樣也是電磁波的一種，不同的是它的波長(zhǎng)較之可見(jiàn)光為短，在100?到0.1?之間。同時(shí)，與一般的電磁波相比，X射線能夠比較容易的穿透物質(zhì)，其穿透強(qiáng)度是隨包含在物質(zhì)里的原子的原子序號(hào)變小而增加。X射線熒光分析儀是利用X射線照射在物質(zhì)上時(shí)，發(fā)生的固有的X射線（熒光X射線）的方法而設(shè)計(jì)的。

　　X射線熒光分析儀不僅成為對(duì)其物質(zhì)的化學(xué)元素、物相、化學(xué)立體結(jié)構(gòu)、物證材料進(jìn)行試測(cè)，對(duì)產(chǎn)品和材料質(zhì)量進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)，對(duì)人體進(jìn)行醫(yī)檢和微電路的光刻檢驗(yàn)等的重要分析手段，也是材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法。

　　熒光X射線照射在物質(zhì)上，構(gòu)成的物質(zhì)其原子的內(nèi)核電子受到X射線的轟擊，能量增加，于是內(nèi)層電子向外層遷移，同時(shí)外層電子向內(nèi)層遷移，由于外層電子所具能量高，在向內(nèi)層遷移時(shí)，便放出能量，此剩余的能量以電磁場(chǎng)的形式放出，既為熒光X射線。由于熒光X射線是元素所固有的能量，依據(jù)Moslay法則可對(duì)熒光X射線的能量做定性分析，同時(shí)，利用熒光X射線強(qiáng)度（光子數(shù)）則可做定量分析。

　　熒光X射線分析也可以說(shuō)是X射線領(lǐng)域里的分光光譜分析。與測(cè)定液體樣品的原子吸收光譜和發(fā)光光譜分析近乎相同的性能。比如，原子吸收光譜（FLAAS），是在2000℃～3000℃的火焰下把樣品原子化，發(fā)光光譜分析（ICP-AES）是利用6000～9000℃的等離子火焰進(jìn)行激發(fā)。熒光X射線分析的手法基本與上述兩者一樣，是利用X射線激發(fā)樣品中的元素從而得到需要的信息。

　　希望上述內(nèi)容能夠幫助大家更好的了解本分析儀。