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等離子清洗機(jī)改善芯片附著、增加引線鍵合強(qiáng)度

2021-12-14  閱讀(552)

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專為半導(dǎo)體封裝和組裝 (ASPA)、晶圓級(jí)封裝 (WLP) 和微機(jī)電 (MEMS) 組裝的需求而設(shè)計(jì)的等離子清洗機(jī),能改善芯片附著、增加引線鍵合強(qiáng)度、消除倒裝芯片底部填充空隙以及減少封裝分層。

  • 芯片貼裝 - 基板通過等離子清洗和表面活化提高芯片貼裝環(huán)氧樹脂的附著力,從而改善芯片和基板之間的粘合。更好的鍵合可改善散熱。

  • 引線鍵合 - 在引線鍵合之前對(duì)焊盤采用等離子清洗機(jī)以提高鍵合強(qiáng)度。

  • 底部填充 - 底部填充工藝之前的等離子清洗機(jī)的表面處理已被證明可以提高底部填充芯吸速度、增加圓角高度和均勻性、減少空洞并提高底部填充粘合力。

  • 封裝和成型 - 等離子清洗機(jī)通過增加基材表面能來提高成型化合物的附著力,改進(jìn)的粘合增加了封裝的可靠性。

  • MEMS - 加速度計(jì)、翻滾傳感器和氣囊展開傳感器等 MEMS 器件在制造過程中需要等離子清洗機(jī)進(jìn)行處理,以提高器件產(chǎn)量和可靠性。


  • 等離子清洗機(jī)應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。通過等離子清洗機(jī)的處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。


  • 等離子清洗機(jī)應(yīng)用于LCD領(lǐng)域:模組板去除金手指氧化和壓合保護(hù)膜過程中之溢膠等污染物,偏光片貼合前表面清潔。

  • 等離子清洗機(jī)應(yīng)用于IC半導(dǎo)體領(lǐng)域:半導(dǎo)體拋光晶片(Wafer):去除氧化膜,有機(jī)物; COB/COG/COF/ACF等工藝中微觀污染物清潔,提高密著性和可靠性。




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