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等離子清洗機(jī)不需化學(xué)試劑,無(wú)廢液;等離子清洗機(jī)可處理金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料;等離子處理設(shè)備可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的精細(xì)清洗;等離子體工藝易控制,可重復(fù),便于自動(dòng)化。
離子清洗機(jī)是利用氣體電離后產(chǎn)生的等離子體對(duì)污染表面進(jìn)行物理濺射或化學(xué)反應(yīng)的作用分解污染物,分解的產(chǎn)物隨著氣流被帶離表面,從而獲取清潔干燥的表面。