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等離子清洗機(jī)在有三種通用頻率
40KHz、13.56MHz和2.45GHz，不同的頻率對工件的處理效果不同，如下分析：
激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，其發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，應(yīng)用于大腔體，特點(diǎn)是等離子能量高，但是等離子密度小，無需匹配，成本較低。常規(guī)是5千瓦至20千瓦。
激發(fā)頻率為13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，其發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)；常用的電源，特點(diǎn)是等離子能量低，但是等離子密度高。效果均勻，而成本稍高。常規(guī)是100瓦至1000瓦。
激發(fā)頻率為2.45GHz的等離子體為微波等離子體，其發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)成本太高，目前應(yīng)用較少
一、等離子清洗機(jī)作用
1、激活鍵能-交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到工件表面后，可以使工件表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
2、對材料表面轟擊-物理作用
主要是利用等離子體里大量的離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子作純物理的撞擊，把工件表面的原子或附著工件表面的原子打掉，等離子清洗機(jī)不但清除了工件表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將工件表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了工件表面的比表面積，提高固體表面的潤濕性能。由于離子在壓力較低時的平均自由基較輕長，得到能量的累積，因而在物理撞擊時，離子的能量越高，越是有更多能量作撞擊，所以若要以物理作用為主時，就必須控制較低的壓力下來進(jìn)行反應(yīng)，為了保證較低的壓力，需要持續(xù)通入空氣或者其他氣體，這樣清洗效果較好，物理作用適合的型號是頻率40KHz 的VP-S系列或者頻率13.56MHz的VP-R系列等離子清洗機(jī)。
3、形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用
化學(xué)作用其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基來與材料表面做化學(xué)反應(yīng)，頻率和壓力較高時，對自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學(xué)反應(yīng)為主時，就必須配備較高的頻率和較高的壓力來進(jìn)行反應(yīng)。
在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（O2）、甲烷（CF4）等，這些氣體在等離子清洗機(jī)內(nèi)反應(yīng)成高活性的自由基，引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性。
化學(xué)作用
需要特別說明的是，有一些工件處理既需要物理作用，也需要化學(xué)作用，這個時候應(yīng)該選用頻率是13.56MHz系列等離子清洗機(jī)。
