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離子處理機(jī)也叫等離子清洗機(jī)，或者等離子表面處理儀，是干式環(huán)保的清洗設(shè)備，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子清洗機(jī)能增加表面張力，精細(xì)清潔，去除靜電，活化表面等功能，廣泛應(yīng)用于玻璃、金屬、線纜、橡膠、塑料、糊盒、糊箱、橡膠表面改性處理。

傳統(tǒng)式的清理加工工藝如cfc清理、ods清理因?yàn)槲廴经h(huán)境、成本費(fèi)用高，限制了當(dāng)代電子器件安裝技術(shù)性的進(jìn)一步發(fā)展，特別是精密的機(jī)器設(shè)備生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓制造等，所以干式清洗尤其是plasma等離子清洗機(jī)是現(xiàn)在發(fā)展趨勢。plasma等離子清洗機(jī)的清洗有二種方式，即等離子對材料表層的反映。常見氣體，如氬（ar）、氮（n2）等。二是氧自由基的化學(xué)變化，普遍的氣體是氫（h2）、氧（o2）等。ar等離子是靠沖擊性破壞了有機(jī)化合物的離子鍵，去除表層污染物。當(dāng)工作壓力較低時(shí)，離子的能量越高，動(dòng)能越高，沖擊越大，如果是用物理反應(yīng)來清洗，反映應(yīng)在較低的工作壓力下開展，實(shí)際清洗效果更強(qiáng)。等離子清洗機(jī)在清洗過程中不會(huì)造成產(chǎn)品與氣體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，避免二次污染，能夠合理地除去因?yàn)榍岸思庸すに囁粲械臍堅(jiān)M(jìn)而使半導(dǎo)體在鍵合全過程中可以融合。與傳統(tǒng)式的濕式清理加工工藝對比，等離子清洗機(jī)更環(huán)境保護(hù)、價(jià)格更低。

等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂.

等離子清洗機(jī)的應(yīng)用于材料的粘接預(yù)處理、印刷預(yù)處理、綁定預(yù)處理、焊接預(yù)處理、封裝預(yù)處理等。等離子清洗機(jī)能清洗肉眼看不的灰塵，殘膠，氧化物，積碳等等，使材料表面粗化，激活，親水性增強(qiáng)等。