適用范圍
稀釋氣入口數(shù) | 1 | 線 性 | 1%F.S |
標(biāo)氣入口數(shù) | 3(可擴(kuò)展) | 輸入氣體壓力 | (100~200)kpa |
稀釋氣質(zhì)量流量控制器 | (0~10)L/min(可擴(kuò)展) | 響應(yīng)時間(T95) | ≤60S |
標(biāo)氣質(zhì)量流量控制器1 | (0~10)L/min(可擴(kuò)展) | 稀釋率(標(biāo)準(zhǔn)) | 300:1(可擴(kuò)展) |
標(biāo)氣質(zhì)量流量控制器2 | (0~10)L/min(可擴(kuò)展) | 輸出通道 | 2 |
流量準(zhǔn)確度 | ±1.0%F.S | 工作環(huán)境溫度 | (0-40)℃ |
流量重復(fù)度 | 0.5%F.S | 重量:7kg 尺寸:(330*240*300)mm |