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閱讀：113發(fā)布時(shí)間：2023-7-9
渦輪分子泵是一種用于高真空和超高真空環(huán)境下的真空泵。它基于分子流動(dòng)和轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)原理工作，主要用于將氣體分子從真空室中抽出，以實(shí)現(xiàn)高真空狀態(tài)。
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渦輪分子泵的工作原理如下：
轉(zhuǎn)子運(yùn)動(dòng)：渦輪分子泵內(nèi)部有一個(gè)高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，由多個(gè)彎曲的葉片組成。轉(zhuǎn)子通過(guò)電機(jī)驅(qū)動(dòng)快速旋轉(zhuǎn)，一般轉(zhuǎn)速可達(dá)幾萬(wàn)到十幾萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘。
氣體抽取：當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體分子進(jìn)入泵的吸氣側(cè)，并被轉(zhuǎn)子葉片的動(dòng)力學(xué)效應(yīng)捕獲。轉(zhuǎn)子葉片的運(yùn)動(dòng)將氣體分子帶到泵的排氣側(cè)，并將其排出系統(tǒng)。
分子碰撞：在轉(zhuǎn)子的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，氣體分子之間會(huì)發(fā)生碰撞，從而使氣體分子的能量分散，并逐漸增加氣體分子的平均速度。
漏氣控制：渦輪分子泵內(nèi)部還設(shè)置了一個(gè)定向?qū)Я髌鳎糜诳刂茪怏w分子的流動(dòng)方向，以避免氣體的回流和漏氣。
通過(guò)上述工作原理，渦輪分子泵能夠快速抽取氣體分子，將氣體從真空室中抽出，從而降低氣體分子的密度和壓力，實(shí)現(xiàn)高真空或超高真空的環(huán)境。
以上就是提供的渦輪分子泵介紹及工作原理。
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