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真空規(guī)是什么?它的工作原理是什么?

閱讀:154發(fā)布時(shí)間:2023-7-8

真空規(guī)是一種常用的真空度量設(shè)備,用于測(cè)量和監(jiān)測(cè)真空系統(tǒng)中的壓力。它基于熱電離原理,通過(guò)測(cè)量氣體分子在電場(chǎng)中離子化產(chǎn)生的電流來(lái)確定真空的壓力。

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真空規(guī)的工作原理如下:

離子化:當(dāng)氣體分子進(jìn)入真空規(guī)的感應(yīng)器時(shí),分子與感應(yīng)器中的電子碰撞,使得部分分子離子化。這些離子被感應(yīng)器中的電場(chǎng)加速,進(jìn)一步產(chǎn)生更多的離子。

電流測(cè)量:感應(yīng)器中的電場(chǎng)使得離子在感應(yīng)器內(nèi)運(yùn)動(dòng),并通過(guò)感應(yīng)器的電極產(chǎn)生電流。這個(gè)電流與氣體中的分子數(shù)目成正比,因此可以用來(lái)測(cè)量氣體的壓力。

壓力計(jì)算:感應(yīng)器測(cè)得的電流信號(hào)經(jīng)過(guò)放大和轉(zhuǎn)換后,可以得到對(duì)應(yīng)的壓力值。壓力計(jì)通過(guò)校準(zhǔn)和參考表格將電流轉(zhuǎn)化為實(shí)際的壓力數(shù)值。

需要注意的是,真空規(guī)適用于中至高真空范圍。對(duì)于較低真空范圍,通常需要使用其他類型的真空規(guī)。

真空規(guī)具有快速響應(yīng)、高精度和穩(wěn)定性的特點(diǎn),因此廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究、工業(yè)制造和其他需要真空度量的領(lǐng)域。

以上就是提供的真空規(guī)介紹及工作原理。


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