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真空泵的工作原理是什么?

閱讀:63發(fā)布時間:2023-7-2

真空泵是一種用于創(chuàng)建和維持真空環(huán)境的設(shè)備,其工作原理基于氣體排除和壓力差的原理。主要有以下幾種常見的真空泵工作原理:

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軸向流動泵:軸向流動泵利用旋轉(zhuǎn)葉片或旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子產(chǎn)生離心力,將氣體從入口抽入并壓縮,然后將氣體推向出口。這種泵常用于低真空范圍,例如根據(jù)運(yùn)動類型分為旋片式真空泵和羅茨真空泵。

漩渦泵:漩渦泵通過高速旋轉(zhuǎn)的葉輪或螺桿,將氣體從入口抽入并通過離心力將氣體排出。這種泵常用于低真空范圍,如渦旋真空泵。

旋渦泵:旋渦泵利用旋轉(zhuǎn)刃片產(chǎn)生渦流,將氣體從入口抽入并沿著螺旋路徑排出。這種泵通常用于高真空范圍,如渦旋分子泵。

回轉(zhuǎn)式泵:回轉(zhuǎn)式泵通過旋轉(zhuǎn)和密封的回轉(zhuǎn)子,將氣體從入口抽入并通過壓縮和排出口排出。這種泵通常用于中至高真空范圍,例如回轉(zhuǎn)式鼓風(fēng)機(jī)和回轉(zhuǎn)式真空泵。

渦輪分子泵:渦輪分子泵利用旋轉(zhuǎn)的渦輪將氣體抽入并排出。它通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪和定子之間的碰撞,將氣體壓縮和排出。這種泵常用于高真空范圍。

以上就是提供的真空泵的工作原理介紹。



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