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愛德華鈦升華泵（TSP）的原理

閱讀：233發(fā)布時間：2022-10-29

當需要維持高真空或者chao高真空的實驗環(huán)境時，只依靠前級泵和分子泵往往無法達到計劃中的真空度，這個時候用戶往往會選擇鈦升華泵和離子泵來輔助維持高真空的狀態(tài)，以下是麥迪森小編總結(jié)的關(guān)于愛德華鈦升華泵（TSP）的原理。

TSP的工作原理是加熱鈦絲并將鈦分子升華(從固相轉(zhuǎn)化為氣相)到某個表面上。升華后的鈦分子可以與反應(yīng)氣體(例如氧氣和氮氣)發(fā)生化學反應(yīng)，同時通過擴散的方式來吸附游離氫氣。TSP可在10^-5至10^-12 mbar的范圍內(nèi)工作，氫氣抽速超過10,000 ls^-1。

鈦升華泵（TSP）的抽氣機理是化學吸附。升華器升華的鈦沉積在冷的泵體壁面上，形成新鮮的鈦膜，對氮、氧和一氧化碳等活性氣體有比較強烈的吸附作用，并形成氮化鈦、碳化鈦和氧化鈦等穩(wěn)定的化合物，但對惰性氣體和甲烷幾乎不吸附。鈦膜吸附氣體只能是單分子層的，在已吸附氣體分子的位置上不能再吸附氣體。因此，鈦升華器需要不斷地升華，使泵體壁面上不斷地沉積新的鈦膜，才能達到連續(xù)抽氣的目的。

以上就是小編總結(jié)的關(guān)于的原理的相關(guān)問題，希望對大家有所幫助。如果需要了解更多真空泵產(chǎn)品，歡迎您咨詢：。

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