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可控硅可靠性測(cè)試及測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)-高壓加速壽命試驗(yàn)/高壓蒸煮(二)

閱讀：61發(fā)布時(shí)間：2023-1-31

二、高壓加速壽命試驗(yàn)/高壓蒸煮(PCT/Autoclave)

目的：檢驗(yàn)器件抵抗水汽侵入及腐蝕的能力，不包括外部腐蝕。

條件： 121℃/99%RH，205kPa（2atm），96hrs。

失效機(jī)理：濕氣通過(guò)塑封體及各界面被吸入并到達(dá)芯片表面,在鍵合區(qū)形成原電池而加速鋁的腐蝕。另外，水汽帶入的雜質(zhì)在器件表面形成漏電通道。試驗(yàn)后因管腳腐蝕引起的開路或塑封體表面漏電等失效不計(jì)。

試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)： JESD22-A102C



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