數(shù)字源表測半導(dǎo)體霍爾效應(yīng)
霍爾效應(yīng)是一種電磁感應(yīng)現(xiàn)象,當電流垂直于外磁場通過半導(dǎo)體時,載流子發(fā)生偏轉(zhuǎn),垂直于電流和磁場的方向會產(chǎn)生一附加電場,如圖7所示?;魻栃?yīng)測試中我們一般測試霍爾電壓VH、電阻率ρ、霍爾系數(shù)RH、載流子濃度n、霍爾遷移率μH等參數(shù)。

霍爾效應(yīng)
霍爾電壓
首先我們測試霍爾電壓VH,按下圖連接方式連接電路,施加一個垂直樣品平面的磁場B,然后點擊設(shè)置——輸出設(shè)置,將源表調(diào)為4線前面板輸出模式,再返回主界面點擊測量,將源表設(shè)置為電流源模式,設(shè)置源限值,點擊“OUTPUT",向1至3方向輸入電流,測試2、4間電壓。

圖8 霍爾電壓測試電路
注意:在2線模式下搭建和拆除電路,禁止在4線模式下插拔。
測試中會受到不等電勢位、愛廷豪森效應(yīng)、倫斯脫效應(yīng)等因素的影響,為了保證測試結(jié)果的準確度,測試中采取對稱測量法。首先我們規(guī)定磁場由下向上為正,電流由1向3為正。具體操作如下:
①、提供正向磁場(+B),正向電流(+I);測得電壓V1;
②、提供正向磁場(+B),反向電流(-I);測得電壓V2;
③、提供反向磁場(-B),反向電流(-I);測得電壓V3;
④、提供反向磁場(-B),正向電流(+I);測得電壓V4;
霍爾電壓為:

電阻率
測試電阻率我們使用范德堡技術(shù),給相鄰的兩點提供電流,測試對立邊的兩點的電壓,此時不需要提供磁場,具體的操作如下圖9所示。

圖9 范德堡技術(shù)測試方法
測試完成后利用測試所得的數(shù)據(jù)先計算出電阻率,計算出兩個電阻率的值ρA、ρB:



tS是以厘米為單位的樣品的厚度;
V1-V8代表電壓測量出的電壓;測得的電壓應(yīng)該小于5V,一般為mV;
I是以安培為單位流過樣品的電流;
fA、fB是基于樣品對稱性的幾何因數(shù),如果樣品W美對稱則fA=fB=1,我們測試中一般選擇正方形的樣品,正方形是W美對稱的。
如果ρA、ρB相差大于10%,則測試的樣品不夠均勻,那使用范德堡技術(shù)就不能準確的確定電阻率,要放棄該方法測試。
其他參數(shù)
霍爾系數(shù)RH:

載流子濃度n:

霍爾遷移率μH:

VH為3.1中測試的電壓、tS為樣品的厚度、B為3.1測試中提供的磁場,I為3.1中提供的電流,ρ為3.2中測試所得的電阻率。通過上面的計算公式,我們可以將霍爾系數(shù)RH、載流子濃度n、霍爾遷移率μH都計算出來。
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