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武漢賽斯特精密儀器有限公司
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廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地武漢市
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更新時間：2020-07-23 00:18:31瀏覽次數(shù)：664次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線Pluto-30 等離子清洗機
產(chǎn)品簡介：
Pluto30是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。
Pluto-30 等離子清洗機
產(chǎn)品簡介：
Pluto30是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。
產(chǎn)品特點：
專業(yè)氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置
*的射頻系統(tǒng)提供超卓的工藝重復(fù)性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息
臺式設(shè)計需要較小的占地面積
技術(shù)參數(shù)：
應(yīng)用領(lǐng)域：
實用案例：微型電路板去膠
檢測設(shè)備：金相顯微鏡 （放大40倍） 實驗設(shè)備：Pluto-30等離子表面處理機
線路板上，有明顯殘膠存在
氧氣，功率200W，殘膠已*清除
Pluto-30 等離子清洗機典型應(yīng)用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性：預(yù)壓模粘合；預(yù)焊線粘合
增強表面膠體流動性：預(yù)成型；預(yù)倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應(yīng)力，改善表面粘結(jié)性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)
電介質(zhì)/III-IV材料
納米涂層（配備液體前體輸送裝置）
耐水納米涂層：印刷電路板表面處理
防腐納米涂層：科研，醫(yī)療植入物
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