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閱讀：211發(fā)布時(shí)間：2022-7-4
超純臭氧發(fā)生器（高濃度臭氧氣體發(fā)生器）臭氧濃度能達(dá)到99%嗎
此超純臭氧發(fā)生器不是我們常見的高濃度臭氧發(fā)生器，此款是發(fā)生器出口臭氧濃度為99%臭氧，不含混合氣體。原理如下：
臭氧發(fā)生器中產(chǎn)生的臭氧氣體在低溫冰箱中冷卻，高純度液態(tài)臭氧通過在臭氧室中的分離和積累而被冷卻。 該系統(tǒng)通過液體臭氧的蒸發(fā)能夠連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體。該裝置可以安全，連續(xù)地生產(chǎn)濃度接近100％的臭氧氣體。
產(chǎn)品特色
超純臭氧發(fā)生器是液化和儲(chǔ)存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見，本機(jī)具有足夠的安全措施。
安全測(cè)量
請(qǐng)始終在高純度和低壓條件下運(yùn)行，以確保系統(tǒng)安全。
安全設(shè)計(jì)
•防爆設(shè)計(jì)
•通過電源使用故障安全系統(tǒng)進(jìn)行溫度/壓力控制。
可靠性
•具有緊急吹掃機(jī)制，以在停電時(shí)稀釋工藝氣體管線中的臭氧并排放設(shè)備內(nèi)的殘留臭氧。
•發(fā)生任何異常情況時(shí)（制冷機(jī)具有防止臭氧爆炸的運(yùn)行維護(hù)功能），可以通過EMO（緊急關(guān)閉）開關(guān)手動(dòng)切換。
•即使在不太可能發(fā)生的爆炸中，該結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)也可以通過將液化室容納在真空絕緣的不銹鋼容器中來防止對(duì)外部設(shè)備造成任何機(jī)械損壞。
•液態(tài)臭氧冷卻裝置的熱量足以容納液態(tài)臭氧的累積量，從而降低了由于振動(dòng)而迅速汽化的風(fēng)險(xiǎn)，否則這是爆炸的危險(xiǎn)因素。
標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證
•本機(jī)符合國際標(biāo)準(zhǔn)：SEMI-S2，UL，NFPA，CE等。
質(zhì)量保證
•通過第三方認(rèn)證機(jī)構(gòu)的示蹤氣體測(cè)試來驗(yàn)證氣體泄漏的安全性。
| 領(lǐng)域 | 類別 | 適用技術(shù) | 預(yù)期效果 |
|---|---|---|---|
| 環(huán)境 | 水處理 | 純臭氧處理方法 | 消毒，除臭和脫色 |
| 藥物治療 | 醫(yī)用器材 | 純臭氧處理方法 | 滅菌和制藥（有機(jī)合成） |
| 電影 | 與FPD相關(guān) | 添加氣體處理方法 | 觸摸屏等的表面改性和涂膜 |
| 半導(dǎo)體安裝相關(guān) | FPC等的表面改性和涂膜 | ||
| 食品相關(guān) | 包裝材料的表面改性 | ||
| 電池相關(guān) | 太陽能電池等薄膜的表面改性 | ||
| 用料 | 會(huì)員 | 純臭氧處理方法 | 碳納米管改性和球形硅氧化 |
| 電池 | 電極 | 添加氣體處理方法 | 電極部件修改 |
| 半導(dǎo)體 | 成膜工藝 | •純臭氧處理方法 •UV臭氧CVD工藝方法 •添加的氣體處理方法 | 氧化，CVD，絕緣膜改性，灰化和干洗 |
| 平版印刷 | 光掩模修改，精密零件清潔和EUVL | ||
| *的系統(tǒng) | 微機(jī)電系統(tǒng) | •純臭氧處理方法 •添加氣體處理方法 | 灰化和干洗 |
| 納米壓印 | 干洗壓模 | ||
| 微加工相關(guān) | 高溫超導(dǎo)膜和分子束外延（MBE） | ||
| 印刷電子 | 印刷步驟前后的表面改性和涂層 |
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