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上海華械自動化設(shè)備有限公司


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5410系列質(zhì)量流量計-金屬密封

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參   考   價: 14

訂  貨  量: ≥1 個

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號5410

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地上海市

聯(lián)系方式:須工查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-08-02 18:37:25瀏覽次數(shù):228次

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經(jīng)營模式:

商鋪產(chǎn)品:8條

所在地區(qū):上海上海市

聯(lián)系人:須工 (銷售區(qū)域經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介
測量范圍 3m3/h 加工定制
類型 其他    

金屬密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下

適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩(wěn)定,0-5V模擬信號更加通用

詳細介紹


5410質(zhì)量流量計

量程(N2)

10SCCM-20SLPM(另外50SLM)

精度

±1.0%FS

重復(fù)性

±0.2%FS

響應(yīng)時間

1秒以內(nèi)

耐壓

1.0Mpa

進口壓力

O.5Mpa

泄漏率

1*10-11pa·m³/s以下

溫度范圍

5-45

濕度范圍

10-90%RH(不能結(jié)露)

材質(zhì)

本體SUS316L

密封圈SUS316L、PTFE

電氣接口

DB9

模擬信號

0-5V輸出

供電

+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA;

管路連接

標配1/4UJR

選配1/8UJR

重量

約800g

 

使用注意
一:進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用,保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二:用肥皂水對管路進行泄漏檢測時,只能將肥皂水噴灑在管路接頭上,不能噴在儀表或電氣插頭上。

三:安裝前,請將設(shè)備管路進行整體吹掃。

四:耐壓1.0Mpa,進口壓力5公斤。

五:需要進行零點漂移清零的時候,確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。


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