電鏡球差校正技術(shù)的實用化,使得同時進行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立*公司與CEOS公司共同的努力,成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
無損檢測設(shè)備
水質(zhì)檢測儀
HD-2700帶有球差校正的場發(fā)射掃描透射電子顯微鏡
電鏡球差校正技術(shù)的實用化,使得同時進行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立*公司與CEOS公司共同的努力,成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
HD-2700通過球差校正,用大會聚角獲得了亞納米級電子束,在分辨率和分析性能獲得重大的進步。
HD-2700共有三種型號,分別是配有球差校正的高分辨型和標準型,以及無球差校正型,可根據(jù)應用需求選擇。
特點:
1. 高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像(標準型)
2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍),可以進行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時間內(nèi)獲得元素的面分布圖
*檢測微量元素成為可能
3.簡化的操作
*提供了的GUI自動調(diào)節(jié)球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容,提供了納米尺度的整體解決方案:從制樣到數(shù)據(jù)獲得和zui終分析
5.多種評價/分析功能可選
*同時獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實時元素Mapping系統(tǒng)(DF-STEM像可以同時獲得)
*實時衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時觀察)
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進行三維分析(360度旋轉(zhuǎn))
*精確的放大倍率校準功能
技術(shù)指標: 項目 | 描述 |
分辨率 (晶格分辨率) | 1、配有球差校正的標準型 0.144nm,電子槍:冷場或熱場 2、配有球差校正的高分辨型 0.136nm,電子槍:冷場 3、無球差校正型 0.204nm,電子槍:熱場 |
加速電壓 | 200KV |
放大倍率 | 100x -10,000,000 |
圖像模式 | 圖像模式 相襯度像(TE像) 原子序數(shù)襯度像(ZC像) 電子衍射花樣(可選) 特征X射線像(可選 :EDX) EELS像(可選 :ELV-2000) |
電子光學 | 電子槍 場發(fā)射電子源,內(nèi)置陽極加熱器 透鏡系統(tǒng) 兩級聚光鏡、物鏡、投影鏡 球差校正器 六極/傳輸 雙重(標準型和高分辨型) 掃描線圈 兩級電磁線圈 電位移 0.5μm |
樣品桿 | 類型 側(cè)插式 移動范圍 X,Y=±1mm,T=±30°(單傾樣品桿) |
操作系統(tǒng) | Windows XP |