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皮米精度激光干涉儀

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產(chǎn)品型號(hào)IDS3010

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更新時(shí)間：2023-12-13 14:27:08瀏覽次數(shù)：244次

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QUANTUM量子科學(xué)儀器貿(mào)易（北京）有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國(guó)attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎(chǔ)上，推出了體積更小、適合集成到工業(yè)產(chǎn)品與同步輻射應(yīng)用中的皮米精度激光干涉儀IDS3010。與FPS型號(hào)干涉儀相似，IDS型號(hào)同樣適用于環(huán)境如高真空與高輻射環(huán)境并且具有*精度與*采樣速率。IDS產(chǎn)品是適合工業(yè)集成與工業(yè)網(wǎng)絡(luò)無(wú)縫連接的理想產(chǎn)品。

詳細(xì)介紹

皮米精度激光干涉儀IDS 3010(NEW)

德國(guó)attocube公司在皮米精度位移激光干涉儀FPS的基礎(chǔ)上，于近推出了體積更小、適合集成到工業(yè)產(chǎn)品與同步輻射應(yīng)用中的IDS型號(hào)皮米精度位移激光干涉儀。與FPS型號(hào)干涉儀相似，IDS型號(hào)同樣適用于環(huán)境如高真空與高輻射環(huán)境并且具有*精度與*采樣速率。IDS產(chǎn)品是適合工業(yè)集成與工業(yè)網(wǎng)絡(luò)無(wú)縫連接的理想產(chǎn)品。產(chǎn)品在工業(yè)應(yīng)用中具有廣泛范圍前景，包括閉環(huán)位移反饋系統(tǒng)搭建、振動(dòng)測(cè)量、軸承誤差測(cè)量等。

+ 設(shè)計(jì)緊湊（50mm x 55mm x 195mm），適合工業(yè)集成

+ 工業(yè)化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面

+ 測(cè)量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz

+ 環(huán)境補(bǔ)償單元，不同濕度、壓力環(huán)境中校正反射率參數(shù)提高測(cè)量精度

+ 校正簡(jiǎn)單，配備可見(jiàn)激光（650nm）用于校正測(cè)量激光（1530nm）

+ 測(cè)量精度高，探測(cè)器分辨率高達(dá)1 pm

IDS 3010激光探頭技術(shù)參數(shù)表

IDS系列激光干涉儀可提供不同型號(hào)探頭（探頭尺寸，光斑大小不同）。

探頭直徑范圍：1.2mm – 22mm。典型準(zhǔn)直激光光斑：1.6mm，典型聚焦激光光斑：70 mm。

低工作溫度：10mK, 1E-10mBar超高真空適用, 10MGy強(qiáng)輻射環(huán)境適用。

激光探頭

型號(hào)

尺寸mm

(直徑與長(zhǎng))

工作距離

(低反射，

高反射材料）

激光類型

（聚焦、準(zhǔn)直）

光斑

大小

D1.2/F7

φ 1.2;

7.5

5-9 mm，

30-45 mm

聚焦，

焦距7mm

70mm@7mm

D4/F8

φ 4;

11.5

6-10 mm，

15-30 mm

聚焦，

焦距8mm

70mm@8mm

D4/F13

φ 4;

11.5

11-15 mm，

30-45 mm

聚焦，

焦距13mm

70mm@13mm

D12/F2.8

φ 12;

32.3

2.8 mm

聚焦，

焦距2.8mm

2mm@ 2.8mm

M12/C1.6

φ 14;

17.4

0-1000 mm

準(zhǔn)直

1.6mm

M15.5/C1.6

φ 22;

20.6

0-1000 mm

準(zhǔn)直

1.6mm

M12/C7.6

φ 14;

49.3

0-5000 mm

準(zhǔn)直

7.6mm

IDS 3010主機(jī)尺寸與接口

實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，皮米精度的穩(wěn)定性

測(cè)量速度快，定位樣品采樣帶寬10MHz

上圖，77mm長(zhǎng)的腔在20個(gè)小時(shí)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量數(shù)據(jù)表明數(shù)據(jù)誤差范圍在55 pm！

上圖，樣品移動(dòng)速度2米/秒，移動(dòng)范圍1m。

皮米精度激光干涉儀IDS 3010應(yīng)用案例

1. 激光干涉儀檢測(cè)納米精度位移臺(tái)

2. 激光干涉儀組建高精度X射線顯微鏡

3. 激光干涉儀無(wú)損探測(cè)軸承誤差

4. 激光干涉儀校正極低溫非線性掃描

國(guó)內(nèi)外用戶名單(排名不分先后)

attocube公司產(chǎn)品以其穩(wěn)定的性能、*的精度和良好的用戶體驗(yàn)得到了國(guó)內(nèi)外眾多科學(xué)家的認(rèn)可和肯定，在范圍內(nèi)有超過(guò)了4000多位用戶。attocube公司的產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)也得到了低溫、超導(dǎo)、真空等研究領(lǐng)域*科學(xué)家和研究組的歡迎......

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中科院上海應(yīng)用技術(shù)物理研究所	北京理工大學(xué)
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