詳細介紹
賀德克機械行業(yè)壓力傳感器具有較高的強度/密度比和較高的剛度/密度比。單晶硅具有很好的熱導(dǎo)性,是不銹鋼的5倍,而熱膨脹系數(shù)則不到不銹鋼的1/7,能很好地和低膨脹Invar合金連接,并避免熱應(yīng)力產(chǎn)生。單晶硅為立方晶體,是各向異性材料。許多機械特性和電子特性取決于晶向,如彈性模量和壓阻效應(yīng)等。單晶硅的電阻應(yīng)變靈敏系數(shù)高。在同樣的輸入下,可以得到比金屬應(yīng)變計更高的信號輸出,一般為金屬的10-100倍,能在10^-6級甚至10^-8級上敏感輸入信號。賀德克HYDAC壓力傳感器硅材料的制造工藝與集成電路工藝有很好的兼容性,便于微型化、集成化及批量生產(chǎn)。硅可以用許多材料覆蓋,如氮化硅,因而能獲得優(yōu)異的防腐介質(zhì)的保護。具有較好的耐磨性。
賀德克機械行業(yè)壓力傳感器的內(nèi)部,設(shè)置有能夠使空氣進入的進氣管,一旦通電之后就能夠?qū)⒖諝廪D(zhuǎn)入傳感器的內(nèi)部,當(dāng)空氣進入之后,就會產(chǎn)生擠壓感應(yīng)器的壓力,通過捕捉電路內(nèi)部的電流的大小,就能夠簡介地通過壓力大大小來傳導(dǎo)電子信號,從而對空氣壓力傳感器所控制的裝置發(fā)出工作信號,使其有所動作,完成一整套的工作。賀德克HYDAC壓力傳感器利用多晶硅膜這些電學(xué)特性,有時比只用單晶硅更有價值。例如,利用機械性能優(yōu)異的單晶硅制作感壓膜片,在其上覆蓋一層介質(zhì)膜SiO2,再在SiO2上淀積一層多晶硅壓阻膜。