詳細介紹
1200℃坩堝可移動型管式爐系列是一款坩堝可在爐管內(nèi)移動(靠步進電機控制)的小型開啟式管式爐。爐管外徑為50mm,設(shè)備zui高工作溫度為1200℃。通過觸摸屏數(shù)字控制器控制樣品臺或坩堝在爐管內(nèi)的位置和溫度。此設(shè)備可進行快速熱處理,例如混合物理化學(xué)沉積(HPCVD),快速熱蒸發(fā)(RTE),以及在各種氣氛下進行的水平布里奇曼晶體生長(HDC),用于新一代晶體研究。
1200℃坩堝可移動型管式爐系列
· 爐子配備步進電機,通過觸摸屏數(shù)字控制器使樣品臺或坩堝在爐管內(nèi)移動。
· zui高溫度可達1200℃。
· 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。
· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。
· 可選擇改造為雙溫區(qū)管式爐,但需額外付費,以產(chǎn)生更高的熱梯度或更長的恒溫區(qū)。
· 一個直徑為1/4"的鎧裝熱電偶(K型),通過法蘭伸入到爐管中,并可隨坩堝移動,可實時監(jiān)測樣品的實際溫度。(見圖一)
· 通過步進電機移動爐管內(nèi)的坩堝(樣品臺),zui大行程為100mm。
· 通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標位置,坩堝移動速度為180mm/min(可根據(jù)要求提供變速控制,但需額外付費)。(見圖二)
· 在熱電偶上安裝了一個微型坩堝舟。( 見圖三)
· 可根據(jù)要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基底支架,將收取額外的定制費(見圖四)。