常用的消毒方法可分為化學(xué)和物理的兩種：物理消毒有加熱法、紫外線法、超聲波等法；化學(xué)法有加氯法、臭氧法、重金屬離子法以及其他氧化劑法等。需要結(jié)合實(shí)際水質(zhì)和要求選擇適宜的消毒方法，純水的消毒方式多采用UV紫外線法。紫外線消殺是利用生物體內(nèi)的核酸吸收了紫外光的能量后，從而改變了其自身的結(jié)構(gòu)，進(jìn)而破環(huán)了核酸的功能所形成。當(dāng)核酸吸收的能量達(dá)到致死量時，紫外光的照射又繼續(xù)保持一定時間，細(xì)菌便大量死亡。在UV燈制造技術(shù)方面的進(jìn)步，目前可制造同時產(chǎn)生185nm和254nm波長的紫外燈管，這種光波長組合可利用光氧化有機(jī)化合物，將超純水中的總有機(jī)碳濃度降低至5ppb以下。