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上海昊量光電設備有限公司
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更新時間：2024-02-12 15:15:06瀏覽次數(shù)：205次
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高精度自動脫模UV機納米壓印技術是上世紀90年代StephenYChou,針對傳統(tǒng)光刻受波長限制提出的類似于模板刻印的一種技術
高精度自動脫模UV機
納米壓印技術是上世紀90年代Stephen Y Chou,針對傳統(tǒng)光刻受波長限制提出的類似于模板刻印的一種技術。它的原理是：將具有納米結構的模板通過一定壓力，壓入加熱的熔融的高分子薄膜內，待高分子材料冷卻，納米結構定型，移去模板，然后再通過等離子體刻蝕等傳統(tǒng)的微電子加工手段把結構轉移到基底上。 過程如下圖所示：
由于熱壓印需要采用較高壓力，容易損壞模板，不利于模板多次使用，并且由于材料和襯底熱系數(shù)并不相同，容易造成納米結構缺陷，于是G.G.Willson 提出了紫外固化壓印。該設備主要原理是：使用低粘度，流動性好的聚合物滴到基板上，利用液體的毛細現(xiàn)象，使光刻膠充滿模板，然后通過紫外光照射使其固化，然后脫模，刻蝕。過程如下圖所示
到目前為止壓印技術已經發(fā)展出來多種類型，典型的包括熱塑壓印技術、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術等。
為了滿足市場日益增長對納米壓印的需求，上海昊量推出了UV納米壓印機。
該設備是基于紫外固化的納米壓印機，可提供2英寸；4英寸和6英寸不等的壓印尺寸。分辨率可做到由于10nm，并且擁有99%產率。
該設備的之處是已獲得zuanli的自動脫模技術。該設備可以通過軟件調節(jié)納米壓印腔體內外的壓力，是模板從襯底上自動脫模。并且可避免分離過程中造成基底和模板的損壞。
該產品擁有以下優(yōu)勢：
l 分辨率優(yōu)于10μm，產率優(yōu)于99%
l 同時適用于軟模和剛性模板
l 自動脫模，防止模板和基板損壞
l 可壓印不同尺寸的模板和基片，方便靈活
l 可編程的PLC觸屏界面
l 對準選項
應用實例：
產品參數(shù)：
AUV-200 | AUV-400 | AUV-600 | |
Substrate size | 2 inch standard | 4 inch standard | 6 inch standard |
Imprint area | Same as wafer size | ||
Imprint pressure | 1 psi standard | ||
UV exposure time | 2-3 min at 95% intensity level | ||
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