Agilent干式氦氣檢漏儀HLD MR30性能指標：

初級泵和抽氣速率：	DS 602 旋片泵，30 m3/h
可檢質量數(shù)：	4
氦氣抽氣速率：	1.8 L/s
靈敏度：	5 × 10-12 mbar?L/s
顯示范圍：	10-4 至 10-11
測試口壓力：	13 mbar
無線遙控器
支持八種語言：	中文、英語、法語、德語、日語、韓語、俄語和西班牙語
接口選項模擬、RS232 和分離式 I/O

HLD MR30 移動式氦氣檢漏儀

Agilent HLD MR30 檢漏儀采用于檢測氦氣的質譜儀，以氦氣作為示蹤氣體來定位和/或測量封閉設備或系統(tǒng)中的微小泄漏。移動式 HLD MR30 既是一款精密的儀器，也是一款耐用的主力儀器，具有簡便易用的觸摸屏界面和菜單結構，便于用戶快速利用其強大的檢漏功能。內置的應用設置可縮短測試循環(huán)，可保存設置以確保重復性。四個輪子可輕松滾動到合適位置。MR30 包括 Agilent DS-602 旋片泵，抽氣速率為 30 m3/h，用于極快排空測試部件和系統(tǒng)，并在測試循環(huán)之間快速凈化環(huán)境氦氣。

Agilent干式氦氣檢漏儀HLD MR30特性：

六個不同的應用設置向導有助于您將儀器正確地配置以獲得較佳性能，確保恰當?shù)卦O置參數(shù)以便完整、有效地進行測試。

觸摸屏界面更大、更耐用且響應更靈敏，能夠 180° 旋轉，非常便于查看。

更明確、更直觀的用戶界面。提供常用功能的快速訪問以及扁平的菜單結構，方便您快速查找所需設置。

開機向導能夠幫助用戶在接通電源后對儀器進行設置。

增強的圖表功能：便于仔細檢查數(shù)據(jù)的放大模式、彩色標記的設定值以及記錄泄漏速率和壓力的時間曲線。

更大的工作面積為需要測試的部件和工具等提供了充足的空間。

經改善的關機程序能夠使檢漏儀處于真空環(huán)境并保護渦輪分子泵。

更強的機動性有助于更輕松到達半導體生產線或其他生產環(huán)境中狹窄的服務區(qū)域和范圍。