Turbo-V 2300 TwisTorr 泵擁有同類產(chǎn)品中較快的 N2 抽速。該泵采用最*的 Twistorr 技術(shù)，是當(dāng)今市場上小分子氣體壓縮比高的渦輪分子泵。該泵專為科研應(yīng)用設(shè)計(jì)，并且采用全顯示機(jī)架控制器進(jìn)行操作。由于能耐受很高的前級壓力，該泵可采用安捷倫 TS600 等經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的小型干式渦旋泵作為前級泵。
Turbo-V 2300 TwisTorr渦輪分子泵特性：
1.Turbo-V2300解決方案包括獨(dú)立式泵和機(jī)架式顯示控制單元
2.*的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)與TwisTorr技術(shù)相結(jié)合，可減少泵的級數(shù)
3.*的整體型轉(zhuǎn)子可減少材料應(yīng)力并改善組裝件容差
4.電機(jī)可縮短啟動時(shí)間并在氣體負(fù)荷變化情況下提高泵的穩(wěn)定性
5.熱耗散更低，真空性能更高
6.*的水冷系統(tǒng)
7.優(yōu)化的風(fēng)冷系統(tǒng)
8.潔凈的免維護(hù)真空
9.采用了安捷倫A-PLUS軟件（原T-plus）
渦輪分子泵應(yīng)用范例
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到較佳性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
Turbo-V 2300 TwisTorr渦輪分子泵典型渦輪泵應(yīng)用：
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 | - 針對質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
- 具有多入口泵組的定制泵
- 低成本、易于使用、高分析性能
- 對于 GC/MS，提供用于相對低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無機(jī)樣品的中等真空接口
- 對于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
- 對于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
- 對于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
| - 質(zhì)譜
- GC/MS
- LC/MS
- ICP-MS
- TOF
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| 科研中的真空應(yīng)用 | - 非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV
- 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染
- 高速和高壓縮
- 可以以任意角度安裝
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
| - 高能物理
- 融合技術(shù)
- 一般 UHV 研究
- 同步光源粒子加速器
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| 工業(yè)真空加工 | - 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
- 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
- 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵
| 薄膜沉積： - 玻璃涂層設(shè)備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）
- 薄膜太陽能電池生產(chǎn)（光電）
- 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤）
- 磁性存儲介質(zhì)
- 表面處理
- 光學(xué)涂層（眼科、精密光電）
- 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆
設(shè)備加工： - 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
- 疏散燈（高速公路照明、投影機(jī)）
- X 射線管和電子設(shè)備
一般工藝： |
| 納米技術(shù)儀器 | - 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì)
- 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
- 低振動渦旋泵適用于最敏感的顯微分析
- 可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
- 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制，幾乎不生成電磁噪音
- 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
- 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）
- 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求，例如真空裝載鎖
- 通過對多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級泵，可提高工具的可靠性
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
- 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
| - 電子顯微鏡（SEM、TEM）
- 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
- 表面分析
- 半導(dǎo)體制
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