Agilent HS-32 擴散泵低成本的 HS 系列泵提供 2 英寸和 16 英寸至 35 英寸等多種尺寸,具有高速、低極限壓力、高抽氣量、前級耐壓高、低返油的特點。該 HS 系列擴散泵標準配置過熱保護開關(guān)和可選的速冷盤管。16 英寸至 35 英寸泵附帶油位觀察窗/注油和放油組件,并提供 ASA 或 ISO 法蘭。
安捷倫HS-32擴散泵特性:
1.五級不銹鋼分餾噴嘴可純化泵油。
2.過熱保護。
3.液位觀察鏡可隨時快速指示泵油的液位。
4.泵油注排組件
5.可選件 halo baffle 水冷帽可以在不增加高度的情況下減少返油。
6.在入口法蘭下方提供標準規(guī)口 (NW-25)。
7.可選速冷盤管。
8.請注意,該產(chǎn)品受核供應(yīng)國集團出口控制。因此,如果您想從美國出口該泵,可能需要獲得美國商業(yè)部頒發(fā)的出口許可證。詳情請查閱美國出口管理條例 ECCN 2B231。
性能指標:
安捷倫HS-32擴散泵技術(shù)指標:
抽氣速率,操作范圍 抽氣速率,AVS4.1 (1963) | 17,300 l/s Air, 21,625 l/s He and H2 32,000 l/s Air |
大抽氣量 | 在工作范圍內(nèi)為 30 T L/s (40 mbar L/s),0.01 torr 時為 35 T L/s (45 mbar L/s) |
操作范圍 | 1.7 x 10-3 至低于 5 x 10-8 torr(2.3 x 10-3 至 6.5 x 10-8 mbar) |
大前級耐壓 | No Load: 0.50 torr (0.65 mbar) Full Load: 0.35 torr (0.45 mbar) |
推薦前級泵 | ?300 cfm (510 m3/h) |
返油率,標準冷卻帽 | 低于 7 x 10-4 mg/cm2/min |
預(yù)熱時間 | 60 分鐘 |
冷卻時間 | 180 分鐘 |
注油量 | 3 美制加侖 (11.3 L) |
電氣要求 | 3 相,50/60 Hz,240/415/480 VAC |
泵功率 | 24000 W |
冷卻水要求 | 在 60-80 ℉ (15-26 ℃) 時,抽速為 4 gpm (800 L/h) |
連接水冷 | 3/8 英寸 FPT 三通 |
推薦泵油 | DC-704 |
抽速曲線:
抽速/冷卻帽 抽速/Halo Baffle 通導(dǎo)
外形圖: