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行業(yè)產(chǎn)品

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北京北廣精儀儀器設(shè)備有限公司


碳素探針式電阻測(cè)試儀

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產(chǎn)品型號(hào)BEST-300C

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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更新時(shí)間:2022-06-09 10:56:36瀏覽次數(shù):170次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

碳素探針式電阻測(cè)試儀適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類(lèi)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。

詳細(xì)介紹

碳素探針式電阻測(cè)試儀參數(shù):

  1. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定)

直 徑:圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15~130mm,手持方式不限

方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 180mm×180mm,手持方式不限. 長(zhǎng)(高)度: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm, 手持方式不限.

BEST-300C 測(cè)試儀能夠測(cè)量半導(dǎo)體材料體電阻率ρ、方塊電阻(薄片電阻率)R 口

以及體電阻 R,測(cè)量時(shí)需調(diào)整相應(yīng)的修正系數(shù)和選擇相應(yīng)的功能。

本產(chǎn)品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻 R 口以及體電阻 R 測(cè)試的基本修正系數(shù)設(shè)定, 還提供了產(chǎn)品厚度 G、外形和測(cè)試位置的修正系數(shù) D 設(shè)定,極大的提高了測(cè)試精度。測(cè)試類(lèi)別的快捷選擇方式,方便了用戶(hù)同時(shí)測(cè)試多個(gè)參數(shù),提高測(cè)試效率。整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差:≤±3%;整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±3%四位半顯示讀數(shù);八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試;范圍寬: 電阻:10-4Ω~105Ω ;方阻:10-4Ω/□~105Ω/□;正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件,即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上,后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí),恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試;也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。校正功能:可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。厚度可預(yù)設(shè),自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。雙電測(cè)測(cè)試模式,測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.具備溫度補(bǔ)償功能,修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。比較器判斷燈直接顯示,勿需查看屏幕,作業(yè)效率得以提高。

3檔分選功能:超上限,合格,超下限,可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷,可直接在LCD使用標(biāo)志顯示;也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。測(cè)試模式:可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。接口,Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤(pán)可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)軟件功能(選配):軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù);可供用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分

在設(shè)定模式下(設(shè)定完畢,保存好數(shù)據(jù)后),選擇測(cè)量類(lèi)別(電阻率ρ、方塊電阻

(薄片電阻率)R 口或體電阻 R 中三選一,切換儀器到“測(cè)量"模式,窗口左側(cè)“測(cè)量" 模式燈亮。電阻測(cè)量,注意良好接觸,電壓測(cè)試端在內(nèi)側(cè);半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試,將探針與樣品良好接觸,注意壓力要適中;由數(shù)字顯示窗直接讀出測(cè)量值。

注意!測(cè)量狀態(tài)中,電流量程默認(rèn)為自動(dòng)方式,也可調(diào)整為手動(dòng)方式,手動(dòng)方式下, 電流量程適合的,儀器會(huì)穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù),電流量程不適合的會(huì)給出超量程或欠量程閃爍提示,對(duì)于超量程,說(shuō)明電流過(guò)大,要調(diào)到較小電流檔;對(duì)于欠量程,說(shuō)明電流過(guò)小, 要調(diào)到較大電流檔。

微信圖片_20210909083952.jpg


碳素探針式電阻測(cè)試儀注意事項(xiàng):

1使用前務(wù)必詳閱此說(shuō)明書(shū),并遵照指示步驟,依次操作。

2請(qǐng)勿使用非原廠提供之附件,以免發(fā)生危險(xiǎn)。

3進(jìn)行測(cè)試時(shí),本儀器測(cè)量端高壓輸出端上有直流高壓輸出,嚴(yán)禁人體接觸,以免觸電。

4為避免測(cè)試棒本身絕絳泄漏造成誤差,接儀器測(cè)量端輸入的測(cè)試棒應(yīng)盡可能懸空,不與外界物體相碰。

5當(dāng)被測(cè)物絕攥電阻值高,且測(cè)量出現(xiàn)指針不穩(wěn)現(xiàn)兔時(shí),可將儀器測(cè)量線屏蔽端夾子接上。例如:對(duì)電繞測(cè)纜芯與纜殼的絕絳時(shí),除將被測(cè)物兩端分別接于輸入端與高壓

端,再將電纜殼,芯之間的內(nèi)層絕絳物接儀器“G",以消除因表面漏電而引起的測(cè)量誤差。也可用加屏蔽盒的方法,即將被測(cè)物置于金屋屏蔽盒內(nèi),接上測(cè)量線。



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