μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。 
      
    便攜式共聚焦顯微鏡一個特殊改裝的固定工作臺可以承載大體積高重量的測試物體，結(jié)合一個可以自由移動的滾輪式工作臺，μsurf 移動式3D測量系統(tǒng)可以輕易的傳輸并且設(shè)置在任意一個地方進(jìn)行使用。μsurf 特別為大體積樣品的測量而開發(fā)。例如，軋輥和車身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線檢查。μsurf 移動式3D測量系統(tǒng)只需幾分鐘準(zhǔn)備便可進(jìn)行測量，并且可以方便地架設(shè)在測試對象上--因為它的重量只有5公斤。根據(jù)不同測量要求可以編輯不同的應(yīng)用方案。配有鼻輪和專業(yè)解決方案軟件的μsurf 移動式3D測量系統(tǒng)可滿足了各種各樣的測量任務(wù)。 

便攜式共聚焦顯微鏡技術(shù)參數(shù) 
    LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
    測量時間：5~10秒 
    測量原理：非接觸、共聚焦、可移動，可以檢測大型的物體 
    X/Y方向移動范圍：50mmX50mm，馬達(dá)驅(qū)動，X/Y方向分辨率：0.3μm 
    Z方向移動范圍：35mm 
    Z方向測量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm 
    物鏡：10X、20X、50X、100X(可選) 
    計算機(jī)：高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)，功能強(qiáng)大且全面的軟件，有拼接功能