催化燃燒裝置主要由熱交換器、燃燒室、催化反應器、熱回收系統(tǒng)和凈化煙氣的排放煙囪等部分組成，如右圖所示。其凈化原理是：未凈化氣體在進入燃燒室以前，先經過熱交換器被預熱后送至燃燒室，在燃燒室內達到所要求的反應溫度，氧化反應在催化反應器中進行，凈化后煙氣經熱交換器釋放出部分熱量，再由煙囪排入大氣。
  在催化劑的作用下，使有機廢氣中的碳氫化合物在溫度較低的條件下迅速氧化成水和二氧化碳，達到治理的目的。催化燃燒法處理工業(yè)有機廢氣是20世紀40年代末出現(xiàn)的技術。
　　催化燃燒設備之所以能達到理想的凈化效率，其實催化劑是重要的核心的技術，由于使用不同的催化劑所產生的效果差別很大，所以選擇合適的催化劑也非常的重要。目前催化燃燒法所使用的催化劑主要有三種:貴金屬催化劑、復合氧化物催化劑和稀土元素催化劑。催化燃燒法研究的重點和熱點仍然集中在催化劑的研究上，工作效率高、便宜、抗中毒的催化劑是關鍵。