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日立掃描電子顯微鏡

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  • 型號(hào) SU1510
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更新時(shí)間:2024-04-07 14:18:10瀏覽次數(shù):128

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日立掃描電子顯微鏡SU1510型的主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

詳細(xì)介紹

日立掃描電子顯微鏡SU1510型的主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
一、日立掃描電子顯微鏡SU1510牡奶氐惻br /> 1. 儀器主體比過(guò)去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場(chǎng)地。
2. 標(biāo)配低真空功能,可以對(duì)不導(dǎo)電進(jìn)行無(wú)噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。
3. 可載入直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進(jìn)行元素分析。
4. 強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能,可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統(tǒng),潔凈無(wú)污染。

二、日立掃描電子顯微鏡SU1510型的技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目

內(nèi)容

二次電子分辨率

3.0nm(高真空,30kV)

背散射電子分辨率

4.0nm(低真空:6Pa,30kV)

倍率

5~300,000倍

加速電圧

0.3~30 kV

樣品臺(tái)

X :0~80 mm
Y :0~40 mm
Z :5~50 mm
T :-20°~ 90°
R:360°

樣品臺(tái)控制

手動(dòng)(可選:2軸馬達(dá))

載入樣品尺寸

直徑:153 mm

觀察范圍

直徑:126 mm(XYR并用)

樣品高度

60 mm(WD=15 mm)

低真空范圍

6-270Pa(從菜單設(shè)定)

燈絲

預(yù)對(duì)中鎢燈絲

物鏡光闌

4孔可變光闌

槍偏壓

固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓

檢測(cè)器

二次電子檢測(cè)器,高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器

EDX分析位置

WD=15,TOA=35°

真空系統(tǒng)

分子泵1臺(tái),機(jī)械泵1臺(tái)

安全措施

停電,漏電,自動(dòng)保護(hù)

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