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TESCAN掃描電鏡VEGA 3 SBU - EasyProbe

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更新時間:2024-04-07 13:54:35瀏覽次數(shù):136

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產(chǎn)品簡介

TESCAN掃描電鏡VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款掃描電子顯微鏡(SEM)與X-射線能譜儀(EDS)的一體化系統(tǒng),其具有圖像質(zhì)量高,自動化程度高,操作簡單,能實(shí)時快速進(jìn)行元素分析等特點(diǎn).另外,可變真空模式下,用戶可以在自然狀態(tài)下觀測不導(dǎo)電樣品.

詳細(xì)介紹

特點(diǎn):

  • SB型號樣品室裝有3軸馬達(dá)驅(qū)動的樣品臺
  • YAG閃爍體探測器
  • 樣品室有10個接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測器
  • 可選配其他探測器和附件
  • 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時工作幾分鐘可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)
  • 在可變真空模式下可觀察非導(dǎo)電的樣品(SBU型號)
  • 利用3D Metrology軟件可以實(shí)現(xiàn)3維重構(gòu)及測量功能

VEGA3 SB-Easyprobe配置

VEGA3 SBH-Easyprobe

高真空型SEM,配備有3軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺,適用于觀察小型導(dǎo)電樣品。同時可完成元素分析。

VEGA3 SBU-Easyprobe

可變真空型掃描電鏡,體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn),可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導(dǎo)電樣品。同時可完成能譜分析。

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