分析潛力

• XM樣品室配備有5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
• 多于12個(gè)接口，優(yōu)化的幾何設(shè)計(jì)更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
• YAG閃爍器式探頭
• 可選各種探頭和配件
• 渦輪分子泵和機(jī)械泵同時(shí)工作，幾分鐘即可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài)
• 在可變真空模式下可觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品（XMU型號(hào)）
• 可選樣品室減振方式
• 3維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與3維測(cè)量功能

VEGA3配置

XM型號(hào)適合觀測(cè)大樣品。

VEGA3 XMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測(cè)大型導(dǎo)電材料。

VEGA3 XMU
可變真空式掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點(diǎn)。在低真空模式下可以觀測(cè)不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。