• 自動激光對準

Tosca 系列AFM提供自動化的激光對準功能：將探針安裝到壓電陶瓷驅(qū)動器上并將壓電陶瓷驅(qū)動器安裝到 AFM 測量頭后，用戶只需在控制軟件中點擊兩下，儀器便會自動執(zhí)行激光對齊。

• 大限度減少平面外運動

借助 XY 方向和 Z 方向解耦合的掃描器架構(gòu)，XY 方向的掃描器位于樣品之下，而 Z 方向的掃描器位于儀器測量頭中。這種儀器設(shè)計可大大降低掃描器之間的串?dāng)_及平面外運動程度。

• 高精度、大范圍掃描

鑒于 X-Y 方向的掃描范圍高達 100 µm 以及 Z 方向的掃描范圍高達 15 µm，您可以靈活地對形貌變化大的大范圍樣品進行成像。點擊即可移動的 Tosca Control 軟件導(dǎo)航有助于您快速精確地選擇關(guān)注區(qū)域。

• 進針過程簡單

進針過程將樣品表面與針尖接觸。Tosca 系列利用側(cè)視攝像頭追蹤探針的確切位置并使其盡可能地靠近表面移動。然后，您便可以啟動自動進針過程，探針在數(shù)秒內(nèi)便可接觸樣品表面并準備進行掃描。

• 快速安全地更換探針

Probemaster 是為探針操作開發(fā)的工具，可節(jié)約時間并保證快速、安全且準確地放置探針。這樣可確保您能快速安全地安裝壓電陶瓷驅(qū)動器與探針以進行下一次測量。

• 體驗不折不扣的出色精度

解耦合的掃描器架構(gòu)確保低至亞納米級別的精度，毫無弓形缺陷。X-Y 方向的閉環(huán)掃描消除了非線性和蠕變問題，提供納米級分析。