1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

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更新時間：2020-12-18 16:58:04瀏覽次數(shù)：266次

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  化學氣相沉積設(shè)備（PECVD等）

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成工作溫度可達1700℃，混氣系統(tǒng)可以對三種氣體進行精確的混氣，真空度可達5×10^-2 torr。

產(chǎn)品型號	1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、雙層殼體，配有風冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。 2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，有效減少能量損失。 3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和延長使用壽命。 4、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護功能。 5、已通過CE認證。
技術(shù)參數(shù)	管式爐 1、電源：單相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 5KW 2、爐管：99.8%高純氧化鋁陶瓷管，外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø72mm，長1000mm 3、加熱元件：1800℃級硅鉬棒8根 4、加熱區(qū)域：457mm 5、恒溫區(qū)域：150mm 6、工作溫度：1700℃ 7、大升降溫速率：5℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、真空度：5×10^-2 torr 10、泄漏率：大6mtorr/min
	真空系統(tǒng) 1、真空泵：雙旋片機械泵 2、可達真空度：5×10^-2 torr 3、法蘭：不銹鋼密封法蘭 4、針閥：2個不銹鋼針閥 5、真空泵接口：KF-25 6、軟管接頭：1/4″ 7、真空顯示計：LED數(shù)字式真空顯示計，測量范圍0.1mtorr-850torr
	浮子流量混氣系統(tǒng) 1、浮子流量計：3個，精確度4%FS 2、流量計范圍：10cc/min-100cc/min，16cc/min-160cc/min，25cc/min-250cc/min 3、壓力表：1個，監(jiān)測混合氣體壓力
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：管式爐550mm×500mm×700mm，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm，　　　真空機組600mm×600mm×700mm 重量：210kg
可選配件	防腐型數(shù)字式真空顯示計