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高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱升溫速度可達(dá) 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過(guò)控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線(xiàn)。

產(chǎn)品型號(hào)	高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1、雙層Al₂O₃纖維鋼構(gòu)，無(wú)需水冷或風(fēng)冷。 2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 3、PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過(guò)熱保護(hù)和斷偶功能。 4、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：?jiǎn)蜗?/span>208V-240V AC 50Hz/60Hz 10KW 2、石英管：外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø103mm，長(zhǎng)380mm 3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長(zhǎng)200mm，絲圈Ø10mm，燈長(zhǎng)300mm 4、加熱區(qū)：300mm 5、工作溫度溫度1100℃ 6、控溫精度：±0.5℃ 7升溫速度：RT-800℃時(shí)為50℃/s，800℃-1000℃時(shí)為10℃/s 8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動(dòng)控制 9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水　冷，循環(huán)水流量為0.5m³/hr 10、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵） 11、質(zhì)量流量計(jì)：3個(gè)，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS 12、混氣罐：Ø80mm×120mm
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm 重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)75kg