通過整合光學(xué)顯微鏡的測量能力實現(xiàn)精確測量

多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能
奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被*消除，以確保實現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

作為高度測量的先鋒，繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過一個嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的***度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測量顯微鏡設(shè)計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
 

[常見問題] 
短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時，效率不高。
由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量。
 

[STM7解決方案]
共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。
Ÿ 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。更多詳細(xì)內(nèi)容請咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
[常見問題]
大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以測量物鏡或金相物鏡，無法同時滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*的觀察方法。
 

工業(yè)測量顯微鏡測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時候，無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場。

金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場，偏光和微分干涉觀察。

奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測量顯微鏡規(guī)格

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離