EDWARDS  IXL500Q HV 干泵 

品牌介紹：Edwards是真空和減排的*。我們以行業(yè)為榮，突破科學的界限，提供與日常生活息息相關(guān)的創(chuàng)新產(chǎn)品，并與客戶合作并不斷設(shè)定新的標準。Edwards擁有100多年的豐富遺產(chǎn)，是關(guān)鍵應(yīng)用中成千上萬客戶的合作伙伴。從發(fā)電到鋼鐵生產(chǎn)，再到充滿挑戰(zhàn)的太空模擬和高能物理研究環(huán)境，各個領(lǐng)域都需要真空。在發(fā)現(xiàn)真空要求的任何地方，您都會發(fā)現(xiàn)Edwards處于*地位。從計算機到咖啡豆，再到汽車和化學藥品，我們?yōu)楦淖內(nèi)藗兊纳疃械阶院?。我們負責任地做到這一點，確保我們可持續(xù)創(chuàng)新，同時幫助我們的客戶保持競爭優(yōu)勢和運。Edwards是瑞典工業(yè)生產(chǎn)力解決方案提供商阿*·科普柯集團（斯德哥爾摩納斯達克OMX：ATCO A，ATCO B）的一部分。

描述：IXL系列是一系列低能耗緊湊型干式泵，適用于輕型應(yīng)用，例如晶圓處理，PVD和計量。

產(chǎn)品特征：

• 快速的腔室抽空和極低的功耗 
• 干泵屬于可用于輕型應(yīng)用的小，安靜的泵之一 
• 變型經(jīng)過了工藝加固，并專門設(shè)計用于介電（氧化物）蝕刻和其他類似應(yīng)用 
• 干泵具有高抽速和低能耗的特點
• 是目前同類產(chǎn)品中速度較快的FPD負載鎖定泵?？蛻艨梢允褂眠@款新型泵顯著降低其運營成本和安裝時間，該泵特別適合用于等離子氣相沉積（PVD）應(yīng)用的大負荷室。此外，客戶將需要減少每個裝載互鎖室的泵，從而減少了安裝時間，系統(tǒng)成本，維護和公用事業(yè)消耗。
• 綠色模式可減少閑置期間的公用事業(yè)使用量，降低成本并有助于改善環(huán)境績效

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