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產(chǎn)地	進(jìn)口	儀器種類	在線式

日本toel高壓過程監(jiān)測氣體分析儀 XPR3

Transpector XPR3 是基于四極桿的下一代高壓過程監(jiān)測器。盡管外觀緊湊（總長度 237 mm），但它可以在從 2.6 Pa 到高真空的寬范圍內(nèi)使用。不需要大型復(fù)雜的差速排氣裝置。

特點(diǎn)
●重新設(shè)計(jì)的離子源減少了污染物的影響，延長了使用壽命，并提供清晰的信號來自雙離子源的一個(gè)離子流被送入四極桿過濾器進(jìn)行分壓測量，另一個(gè)離子流被發(fā)送到全壓收集器。這使得連續(xù)的總壓力測量具有比離子堿更高的精度。這改善了高壓范圍內(nèi)的靈敏度損失，并以1.1 Pa為單位實(shí)現(xiàn)了測量精度。

●在PVD工藝壓力下運(yùn)行的新型EM（二次電子倍增管）可實(shí)現(xiàn)快速干凈的數(shù)據(jù)收集，并且無需從FC更改為EM而便于數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換
●新型擴(kuò)展四極桿提高了低質(zhì)量范圍內(nèi)的過濾性能和豐度靈敏度，以及氫氣檢測靈敏度

應(yīng)用實(shí)例

?PVD工藝模塊

?預(yù)清洗模塊

?脫氣模塊

雙離子源經(jīng)過改進(jìn)，可最大限度地減少污染物的影響，從而延長離子源的使用壽命。

來自該雙離子源的離子流之一被送入四極桿過濾器進(jìn)行分壓測量，另一個(gè)離子流被發(fā)送到全壓收集器。這允許以比離子計(jì)更高的精度連續(xù)測量總壓力。

日本toel高壓過程監(jiān)測氣體分析儀 XPR3

產(chǎn)品規(guī)格

質(zhì)量范圍	1~100（阿姆）
分辨率	< 1@10%，在質(zhì)量 4、20、28、40 下測量（根據(jù) 1993 年 AVS 建議）
質(zhì)量過濾器類型	四極桿
探測器類型	離軸 FC 和微通道板 EM
溫度系數(shù)	<1% / 1°C 作為峰高（在 FC 信號 Ar 1.3E-2Pa 時(shí)）
質(zhì)量峰穩(wěn)定性	24小時(shí)內(nèi)<0.1amu （FC信號Ar 1.3E-2Pa，STP常數(shù)）
質(zhì)量峰比穩(wěn)定性	24小時(shí)內(nèi)<2%（2/40，4/40，20/40，28/40）
靈敏度（標(biāo)稱）	FC@40eV/200μA：≧3E-9安培/帕 EM@40eV/200μA：≧3E-5安培/帕
最小檢測分壓	FC@40eV/200μA：≧3E-7Pa EM@40eV/200μA：≧8E-10Pa
最大工作壓力	光纖通道或電磁程：2.6Pa（線性操作：1.3Pa）
傳感器最高工作溫度（最高烘烤溫度）	150°C（200°C：去除浮渣）
PPM 檢測限值	10ppm（@0.13~0.65Pa工藝壓力）
工作溫度	20~50°C
輸入功率	20~30VDC，9針D型連接器（公頭），內(nèi)部與系統(tǒng)接地隔離
RS232串行通訊接口	非隔離，波特率 1200~9600 波特，9 針 D 連接器（母頭）
RS485 通信接口（可尋址）	隔離，固定波特率（57，600），半雙工，固定地址 1~31，9 針 D 連接器（母頭）
繼電器輸出	4個(gè)系統(tǒng)，24V-0.5A（工作狀態(tài)×1，極限設(shè)定點(diǎn)×3）
輸入	2路非隔離×TTL輸入，2路觸點(diǎn)輸入，0路差分模擬×輸入，10~<>VDC