測(cè)量范圍 |
1 |
類(lèi)型 |
數(shù)字式 |
日本dip coater膜厚計(jì)AFW-100W
推薦使用反射光譜膜厚計(jì)用于膜厚測(cè)量應(yīng)用,例如硬涂層。
日本dip coater膜厚計(jì)AFW-100W

使用反射光譜膜厚計(jì)用于膜厚測(cè)量應(yīng)用,例如硬涂層。
[機(jī)理] 當(dāng)
樣品受到光照射時(shí),它會(huì)根據(jù)膜厚顯示出*的光譜。薄膜表面反射的光與穿過(guò)薄膜并在基板表面反射的光相互干擾。當(dāng)光的相位匹配時(shí),強(qiáng)度增加,而當(dāng)光相移時(shí),強(qiáng)度降低。反射計(jì)是一種通過(guò)分析該光譜來(lái)測(cè)量薄膜厚度的方法。
[優(yōu)點(diǎn)] -
與 SEM 和觸針式輪廓儀不同,無(wú)需接觸即可進(jìn)行測(cè)量。
- 與橢偏儀相比,便宜且易于使用。
將來(lái)也可以安裝在量產(chǎn)設(shè)備中。
日本dip coater膜厚計(jì)AFW-100W
模型 | AFW-100W |
---|
用 | 對(duì)于一般膜厚 |
---|
設(shè)備配置 | 單元主體、測(cè)量臺(tái)、2 分支光纖 (1.5m)、PC |
---|
測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 380-1050nm |
---|
膜厚測(cè)量范圍 | 100nm~1μm(曲線(xiàn)擬合法) |
---|
1 μm 至 60 μm (FFT) |
測(cè)量再現(xiàn)性 | 0.2%-1%(視膠片質(zhì)量而定) |
---|
測(cè)量光斑直徑 | 約7mm |
---|
光源 | 12V-50W鹵素?zé)?/span> |
---|
測(cè)量理論 | 曲線(xiàn)擬合法/FFT法 |
---|
外形尺寸 (mm) | 測(cè)量臺(tái):W150 x D150 x H115 |
---|
機(jī)身:W230 x D230 x H135 |
大約重量 | 5.5kg * 不包括 PC |
---|
公用事業(yè) | AC100V 50 / 60Hz |
---|
轟天猛將 | 鹵素?zé)?/span> |
---|
顯微分光膜厚儀
通過(guò)使用顯微鏡,可以測(cè)量具有過(guò)去無(wú)法測(cè)量的不規(guī)則性的電子元件和曲面透鏡。
姓名 | 顯微分光膜厚儀 |
---|
設(shè)備配置 | 顯微鏡、單元主體、光纖 (1m)、PC |
---|
顯微鏡 | 奧林巴斯金相顯微鏡 |
---|
測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 380-700nm |
---|
膜厚測(cè)量范圍 | 50nm-1.5μm (C/F) |
---|
1.5 μm 至 50 μm (FFT) |
測(cè)量再現(xiàn)性 | 0.2%-1%(視膠片質(zhì)量而定) |
---|
測(cè)量光斑直徑 | Φ6 μm 至 Φ120 μm |
---|
光源 | 12V-100W鹵素?zé)?/span> |
---|
測(cè)量理論 | 曲線(xiàn)擬合法/FFT法 |
---|
外形尺寸 (mm) | 顯微鏡:W317.5 x D602 x H480 |
---|
機(jī)身:W230 x D230 x H135 |
大約重量 | 25kg * 不包括 PC |
---|
公用事業(yè) | AC100V 50 / 60Hz |
---|
轟天猛將 | 鹵素?zé)?/span> |
---|