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199次日本motoyama薄膜晶體制造設(shè)備LPE爐技術(shù)
LPE（液體，相位，外延）薄膜晶體制造設(shè)備在日本擁有100多個(gè)單位。它由高精度垂直管式爐，旋轉(zhuǎn)升降驅(qū)動(dòng)軸和控制單元組成，控制單元具有*的溫度控制精度，可實(shí)現(xiàn)高效的薄膜晶體生產(chǎn)。
通過預(yù)先輸入過程詳細(xì)信息，將以確定的值自動(dòng)執(zhí)行目的地，移動(dòng)速度，旋轉(zhuǎn)狀態(tài)和旋轉(zhuǎn)速度。
LPE薄膜晶體制造設(shè)備規(guī)格 | |
加熱器容量 | 單相200V 2.3kW x 3個(gè)區(qū)域 |
加熱室尺寸 | φ280×H650毫米 |
常溫 | 800℃?900℃ |
z高溫度 | 1000℃ |
溫度分布 | ±2℃（空氣爐穩(wěn)定在850℃時(shí)，φ100×H200mm的空間） |
溫度波動(dòng)范圍 | ±0.2℃（空氣爐穩(wěn)定在850℃時(shí)，φ100×H200mm的空間） |
加熱元件 | SSS加熱器 |
芯管 | φ220×φ205×L800mm |
LPE熔爐驅(qū)動(dòng)單元（樣品軸）規(guī)格 | |
提升速度 | 20-300毫米/分鐘 |
停止精度 | ±1mm以內(nèi) |
旋轉(zhuǎn)方式 | 前進(jìn)/后退 |
轉(zhuǎn)速 | 20-300 rpm（帶軟啟動(dòng)） |
轉(zhuǎn)速波動(dòng)精度 | 在±1％FS之內(nèi) |
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