目前針對(duì)有機(jī)廢氣處理方法有很多種，常見(jiàn)有機(jī)廢氣處理方法主要有活性炭吸附法、等離子法、熱力燃燒和催化燃燒法。

（1）活性炭吸附法

西安電子廠廢氣處理檢修利用吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）對(duì)廢氣中有機(jī)組分的高效吸附性能，使廢氣通過(guò)吸附劑層后得以凈化。吸附技術(shù)采用的吸附介質(zhì)是活性炭（棒狀或顆粒活性炭）。吸附法凈化效率高（隨著吸附劑的飽和，凈化效率逐漸降低）、運(yùn)行費(fèi)用高（更換吸附劑的成本非常高）、投資成本低、給環(huán)境帶來(lái)固體廢棄物的二次污染。目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度（≤800mg/m3）、無(wú)顆粒物、無(wú)粘性物、常溫的有機(jī)廢氣凈化處理。

（2）等離子法

西安電子廠廢氣處理檢修利用介質(zhì)阻擋放電過(guò)程中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含*化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為 CO2 和 H2O 等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。目前市場(chǎng)上很多低溫等離子名義上是電力廢氣，實(shí)際是電離空氣產(chǎn)生臭氧，利用臭氧的強(qiáng)氧化性來(lái)進(jìn)行廢氣處理。低溫等離子的放電效果和空氣的濕度有*的關(guān)系，濕度越大能耗越大，大量能量會(huì)被水分子吸收，從而降低電離效果。使用低溫等離子處理廢氣，廢氣直接經(jīng)過(guò)放電系統(tǒng)，對(duì)于易燃易爆氣體帶來(lái)很大安全隱患，容易造成火災(zāi)等重大安全事故。

（3）催化燃燒法

一般適用于有機(jī)廢氣濃度在 2000-5000mg/m3之間，有機(jī)廢氣在催化劑（鉬、鉑、鈀等貴金屬）作用下進(jìn)行低溫氧化無(wú)焰燃燒，將有機(jī)成分氧化為 CO2和 H2O 產(chǎn)物。特點(diǎn)：無(wú)火焰燃燒，易控制，燃燒控制溫度較低（250～300℃之間），外加熱能消耗少，不同的廢氣組分須選擇不同形式的催化劑及燃燒工藝。進(jìn)入催化燃燒裝置的氣體必須經(jīng)過(guò)過(guò)濾處理和預(yù)熱處理，使廢氣溫度達(dá)到催化劑的起燃溫度（220-250℃之間），除去粉塵顆粒物及液滴等催化抑制劑，避免催化床層的堵塞和催化劑的中毒失效。