無(wú)需復(fù)雜壓力轉(zhuǎn)換的 PVD 過程監(jiān)控

Transpector XPR3 氣體分析儀提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關(guān)污染級(jí)別、除氣級(jí)別、氣體純度和設(shè)備操作等方面的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測(cè)和診斷問題，從而*大化吞吐量和產(chǎn)量，也可以根據(jù)此信息制定更有效的預(yù)防性維護(hù)計(jì)劃，從而延長(zhǎng)工具運(yùn)行時(shí)間。

Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統(tǒng)，可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統(tǒng)的成功經(jīng)驗(yàn)，具有*的靈敏度、準(zhǔn)確性和靈活性，可以監(jiān)控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術(shù)上的突破，無(wú)需大型、復(fù)雜的壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備，即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內(nèi)操作。

XPR3 氣體分析儀功能

• 經(jīng)過重新設(shè)計(jì)的離子源*大限度減少污染積存，可延長(zhǎng)使用壽命，提供更純凈的信號(hào)。
• 新 EM 在 PVD 過程壓力下工作，可實(shí)現(xiàn)更快速、更純凈的數(shù)據(jù)收集，消除 FC 向 EM 過度的必要，更便于數(shù)據(jù)分析。
• 更長(zhǎng)的新型四極桿提高了低質(zhì)量范圍下的濾波性能，增強(qiáng)了豐度靈敏度，從而提高了氫氣檢測(cè)靈敏度。

典型應(yīng)用

• PVD 過程模塊
• 預(yù)清洗模塊
• 非群集 PVD 工具
• 夾鉗式除氣模塊