實時終點檢測和檢漏

INFICON Quantus LP100 氣體分析儀可在關鍵過程環(huán)境中進行實時檢漏和終點檢測。許多過程對泄漏都很敏感，或要求進行終點檢測。Quantus LP100 是一種氣體分析儀，專門用于實時應對敏感過程環(huán)境中的細微變化，以*大限度地減少報廢，提高產(chǎn)出。

典型應用

• 太陽能/光伏設備制造
• LCD 制造
• PVD 過程監(jiān)控
• 監(jiān)控過程氣體壓力和氣體比率
• 暴露和鑒別污染
• 檢測和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）
• PM 恢復/故障排除和驗證基本真空

功能

• 方便的現(xiàn)場可更換等離子單元
• 使用標準 KF25 連接方便地安裝
• 更低的維護成本
• 低至 ppm 級的出色檢測下限
• 工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr
• *可靠性：無需泵
• 低擁有成本
• 快速的 10 Hz 采樣頻率
• 精致小巧（高 x 寬 x 長）87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)
• 有經(jīng)驗的現(xiàn)場培訓 INFICON 工程師提供支持

我們致力于*真空技術的推廣、應用，從中低真空、高真空、到超高真空，我們可以根據(jù)客戶的要求**合適的真空產(chǎn)品，提供*上等的真空解決方案，為廣大用戶改進生產(chǎn)工藝，提升競爭力提供產(chǎn)品服務和技術和支持。