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日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 一、產(chǎn)品簡介
CFB-K系列抗沖擊分子泵轉(zhuǎn)子采用國家新型加工而成，提高了葉齒強(qiáng)度，分子泵高速旋轉(zhuǎn)時(shí)可以抵抗瞬時(shí)5000Pa的大氣沖擊和粉塵，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。
日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 二、產(chǎn)品特點(diǎn)
具有高壓強(qiáng)、抽速大的特點(diǎn)，對(duì)被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)，由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
日本ULVAC CFB-1600K抗沖擊分子泵 三、主要性能指標(biāo)
型號(hào) | CFB-1600K | ||
訂貨號(hào) | 3183 | 3184 | |
進(jìn)氣口法蘭 | — | LF250 | CF250 |
排氣口法蘭 | — | KF50 | |
抽氣速率 | L/s | 1600 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
極限壓強(qiáng) | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | rpm | 21000 | |
啟動(dòng)時(shí)間 | min | ＜6 | |
軸承 | — | 陶瓷軸承 | |
前極泵 | L/s | 15 | |
振動(dòng)值 | μm | ≤0.15 | |
冷卻水溫度 | ℃ | ≤25 | |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | |
冷卻水流量 | L/min | 1 | |
泵口耐壓 | Pa | 7000 | |
加熱器輸入電壓 | V | AC220 | |
安裝方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～35 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線
CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線
CFB系列抗沖擊分子泵安裝尺寸表
型號(hào)規(guī)格 | CFB-1600K | |
進(jìn)氣口法蘭 | LF250 | CF250 |
D1 | Ф290 | Ф305 |
D2 | Ф296 | Ф296 |
D3 | □183.8 | □183.8 |
L1 | 161 | 161 |
L2 | 166 | 166 |
H1 | 394 | 394 |
H2 | 110 | 110 |
H3 | 142.5 | 142.5 |
H4 | 104 | 104 |
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