日立高新使用新開(kāi)發(fā)的X射線聚光用多毛細(xì)管的產(chǎn)品陣容誕生了。另外，以X射線檢測(cè)結(jié)構(gòu)為中心，對(duì)各類元件進(jìn)行優(yōu)化，從而大幅提高了檢測(cè)靈敏度，在不損失檢測(cè)精度的前提下實(shí)現(xiàn)了的高處理能力。并且，對(duì)設(shè)備進(jìn)行了重新設(shè)計(jì)，使得樣本室的使用，以及對(duì)檢測(cè)點(diǎn)的檢查變得更為容易。

詳細(xì)介紹

顯微領(lǐng)域的高精度檢測(cè)

通過(guò)采用新開(kāi)發(fā)的多毛細(xì)管，以及對(duì)探測(cè)器的優(yōu)化，在實(shí)現(xiàn)照射半徑等同于舊有型號(hào)FT9500X為30 μm（設(shè)想FWHM： 17 μm）的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步將處理能力提高到了2倍以上。

產(chǎn)品陣容適應(yīng)各類檢測(cè)樣本

針對(duì)檢測(cè)樣本的不同種類，可在下列3種型號(hào)中進(jìn)行選擇

測(cè)量引線架、連接器等各類電子元器件的微型部件、超薄薄膜的型號(hào)

能夠處理尺寸為600 mm×600 mm的大型印刷電路板的大型印刷電路板用型號(hào)

適合對(duì)陶瓷芯片電極部分中，過(guò)去難以同時(shí)測(cè)量的Sn/Ni兩層進(jìn)行高能測(cè)量的型號(hào)

兼顧易操作性與安全性

放大了開(kāi)口，同時(shí)樣本室的門(mén)也可單手輕松開(kāi)閉。從而提高了取出、放入檢測(cè)樣本的操作簡(jiǎn)便性，并且該密封結(jié)構(gòu)也大大減少了X射線泄漏的風(fēng)險(xiǎn)，讓用戶放心使用。

檢測(cè)部位可見(jiàn)

通過(guò)設(shè)置大型觀察窗、修改部件布局，使得樣本室門(mén)在關(guān)閉狀態(tài)下亦可方便地觀察檢測(cè)部位。

清晰的樣本圖像

使用了分辨率比以往更高的樣本觀察攝像頭，采用全數(shù)碼變焦，從而消除位置偏差，可以清晰地觀察數(shù)十μm的微小樣本。

另外，亦采用LED作為樣本觀察燈，無(wú)需像以往的機(jī)型那樣對(duì)燈泡進(jìn)行更換。

新GUI

?將各類檢測(cè)方法、檢測(cè)樣本都以應(yīng)用程序圖標(biāo)的形式進(jìn)行了登記。圖標(biāo)皆為檢測(cè)樣本的照片、多層膜的圖示等，因此登記、整理起來(lái)就很方便，從而使得用戶可以不走彎路，直接進(jìn)行檢測(cè)。

?使用檢測(cè)向?qū)Т翱趤?lái)指導(dǎo)操作。通過(guò)與檢測(cè)畫(huà)面聯(lián)動(dòng)，逐步引導(dǎo)用戶執(zhí)行當(dāng)前所需進(jìn)行的工作。

FT150系列參數(shù)：

	FT150	FT150L	FT150H
測(cè)量元素	AL（Z＝13）～U（Z＝92）	AL（Z＝13）～U（Z＝92）	AL（Z＝13）～U（Z＝92）
X射線管	Mo靶材	←	W靶材
X射線管	管電壓：45KV管電流：1mA以下	←	←
檢測(cè)器	Si半導(dǎo)體檢測(cè)器（SDD）	←	←
照射徑	Ф：30μm (FWHM:17μm)	←	Ф：35μm (FWHM:20μm)
樣品觀察	CCD攝像頭	←
樣品尺寸	400mm×300mm×100mm	600mm×600mm×20mm	400mm×300mm×100mm
樣品重量	10Kg	←	←
應(yīng)用程序	定性分析	←	←
	薄膜檢量線（單層、2層、2成分合金單層膜）	←	←
	薄膜FP法（最多可測(cè)量5層、10個(gè)元素）等	←	←
報(bào)告功能	Microsoft Word/Excel	←	←
電源	AC100-240V	←	←
儀器尺寸	930mm×900mm×710mm	1030mm×1200mm×710mm	930mm×900mm×710mm
儀器重量	約160Kg	約170Kg	約160Kg